【晶体拆解】Quartz & MEMS Oscillator

Seiko NPC HA5022A3

SiTime SiT8008 - MEMS oscillator

SiTime SiT8008 是一种可编程 MEMS 振荡器，其精度达到石英标准，但可靠性更高，g 灵敏度更低。此外，SiTime 还是获得俄罗斯高科技投资基金 Rosnano 投资的公司之一。

MEMS 芯片的照片让我们困惑了很长时间。这是某种集成 SAW/STW 谐振器吗？

诀窍在于，MEMS 谐振器必须在真空中工作，才能达到最大 Q 因子（根据专利，高达约 186’000）。因此，他们将谐振器封装在氢气环境中的芯片内部，然后在真空中退火，使氢气从硅中逸出。因此，我们在这里看到的只是一个与 "埋入地下 "的 MEMS 谐振器有接触的盖子。没有 X 射线照相机或离子研磨机，我们无法接触到谐振器本身。

MEMS 芯片尺寸 - 457x454 微米。