传统工艺中,std cell延时随着温度的降低而减少;但是在先进工艺下,std cell延时在低温时反而随温度的降低而增大,这就是温度翻转效应。所以最差的延时可能出现在温度最高的时候,也有可能出现在温度最低的时候。
cell delay与MOS管的饱和电流是负相关关系。
u: 载流子的迁移速率
Cox:单位面积栅氧化层
W/L:氧化层宽长比
Vgs-Vth:过驱动电压
在比较老的长沟道工艺中,温度对于载流子迁移率以及阈值电压Vth的影响:
当温度增加--->晶格散射增大,少数载流子增多--->迁移率u减少
当温度增加--->Vth减小
但迁移率的减小作用相较于Vth的减小作用更大,所以延迟随温度的升高而增大,随温度的降低而减小。
随着工艺尺寸的减小,在短沟道工艺中,供电电压更低,所以Vgs更低。
当温度降低--->迁移率u增大
当温度降低--->Vth增大
但是温度对Vth的影响更大,所以饱和电流减小,std cell delay增大。
进入先进工艺,与温度相关的栅极过驱动(Vgs-Vth)变得对温度更加敏感。180nm下25度至125度的栅极过驱动电压相差5%,但是在45nm工艺下,相差21%,对驱动电流的变化起了主导作用,因此在电路延迟上表现出温度反转效应。