摘 要: 介绍了几种常用泵的原理及在湿法腐蚀清洗设备中的典型应用。
关键词: 泵;湿法腐蚀清洗;自动供液系统
湿法腐蚀清洗设备是集成电路、LED、太阳能、MEMS 等芯片制造中必不可少的工艺设备之一,泵作为其常用的关键部件有着广泛的应用。泵是输送液体或使液体增压的通用机械,湿法腐蚀清洗设备中泵主要用来输送水、酸、碱、有机等化学药液。随着芯片制造特征尺寸的缩小,工艺水平的不断提高,对晶片腐蚀的均匀性,晶片表面颗粒及金属污染等洁净度指标提出了更高的要求,为之, 湿法腐蚀清洗设备在采取其它措施(如晶片旋转、抖动、超声清洗、兆声清洗等)的同时,业内普遍采用以泵为动力源的工艺槽循环过滤方式,用以净化槽内药液、均匀流场保证药液浓度和温度的均匀性,这也是泵的最典型应用;泵的另一应用是用于化学药液的自动供给及废液的输送。湿法腐蚀清洗设备使用的化学药液很多,有酸性腐蚀剂,碱性腐蚀剂以及有机腐蚀剂等,这些化学药液通常具有较强的腐蚀性,特别是有机药液还具有易燃、易爆特性,同时它们的使用温度也不尽相同,有常温也有高温,依据不同使用要求, 选择相适应的泵的类型,是保证设备稳定运行的重要因素。目前,湿法腐蚀清洗设备中常使用的泵有气动隔膜泵、风囊泵、磁力泵等。
- 气动隔膜泵
- 气动隔膜泵工作原理
气动隔膜泵的工作原理见图 1 所示。压缩空气通过气阀进入中间腔体,其中有两个导气口将空气导向左气室或右气室。泵有两个液体腔室,两个气体腔室和两个隔膜片。每一个气室和液室被柔软的隔膜分隔开。在气室中,当气压作用在一个膜片的背侧时,就会迫使液体腔室中的液体进入出料口管。由于两块膜片被中心轴杆连接着,另一个膜片就会被拉向泵中间,这就导致另一边吸料。球阀通过交替的开关动作来充满腔室并阻止回流。当中心轴杆行程结束时,空气装置(气阀活塞)自动转换气压到相反侧,从而改变泵的运动方向,使泵 1:1 地往复动作。
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- 气动隔膜泵的特点
气动隔膜泵采用压缩空气为动力源,对于各种腐蚀性液体,带颗粒的液体,高黏度、易