如何设计一个近红外光谱仪——DMD编码型

在上一篇文章中，已经简要介绍了近红外光谱仪常见类型和特点。本文中将介绍近红外光谱仪的原理，并简要介绍如何利用光学设计软件设计一个近红外光谱仪。

一、技术背景与设计目标

光谱是指将物体或物质所发出或吸收的光线按照频率或波长进行分解和分析的过程或结果。光谱分析是指通过对光谱进行测量、分析和解释，获得光谱信息中包含的物质化学性质的信息，来研究物体或物质的组成、结构、性质、状态等方面的方法和技术。光谱分析和光谱成像技术采集的光谱和图像信息中包含着样品物质化学性质的信息，在光谱和图像信息与被测物质成分之间建立数学关联，可以获得被测样品的检测结果。

近红外光是一种位于可见光和中红外光之间的电磁波，是指波长范围在780~2526nm 之间的电磁辐射。近红外光谱分析技术是一种基于分子振动的非破坏性分析方法，通过测量样品在近红外区域的吸收光谱，并与已建立的光谱模型作对比，就可以获取样品的化学成分、物理性质等信息。

近红外光谱仪的基本结构主要包括以下几个部分：光源、分光系统、样品室、探测器和数据处理系统。对于近红外光谱仪的工作流程来说，分光是光学系统的核心，也是不可缺少的环节。分光，顾名思义就是将复色光中的不同波长的光各自分离开来，并将其投射向不同的方向，这样才能解析出复色光中的波长成分及对应强度。本文中介绍的近红外光谱仪采用反射式光栅为分光元件，提出设计指标如下：

表1 近红外光谱仪设计指标

二、光学系统方案与参数计算

(1)光学系统方案

近红外光谱仪结构形式在本文中不再赘述，阵列探测型光谱仪由于探测器自身的一些性质，存在着像面非均匀性的问题，而且线阵探测器通常需要标定和定期的校正，使用流程更加繁琐。通过折叠使用了 DMD 数字微镜阵列器件的光栅扫描型近红外光谱仪的光路，同样可以实现减小体积和空间的目标，而且 DMD 数字微镜阵列由于自身特性有以下优点：通过程序控制可以控制每个微镜进行翻转从而灵活的进行选择所需波长，还可以替代机械斩波器，减小系统的元器件个数，同时对 DMD 进行 Hadamard 模版编码后还可以通过算法提高光谱仪整体的信噪比，综合对比上述结构的优缺点，选择DMD 扫描的光路结构，并采用反射式平面光栅作为分光器件来减小光路体积，如图2-1所示。

图2-1 选用的近红外光谱仪结构形式

(2)光栅参数计算

在进行光谱仪光学系统设计时，需要根据光栅方程进行计算，以确定反射镜和光栅参数情况。首先有光栅方程          

其中 d——刻线间距(mm)

       N——每毫米刻线数

       M——衍射级次（m=0,±1，±2，…）

       λ——波长(nm)

通常情况下，光栅采用闪耀光栅，在特定阶次和波长要求下具有高衍射效率的特点。如图2-2所示，对于闪耀光栅的主闪耀波长有：

当衍射效率最高时，此时称为利特罗光路，或利特罗配置，有主闪耀波长：

若光栅倾斜的角度使入射角不满足利特罗条件，则衍射效率最高的中心波长为：

图2-2 闪耀光栅与主闪耀波长

由于m是整数，因此衍射角ß是跳跃式变化。这里把不重叠的区域称为衍射光栅的自由光谱区(free spectral range)，如图2-3所示。在m阶中使用λ1到λ2波长的光谱时，应满足以下条件，以防止光谱重叠：

图2-3 自由光谱范围

指标要求的光谱范围是900~1700nm，满足自由光谱范围要求，不会发生光谱重叠现象。

三、光路搭建与设计优化

优化时可以对三组透镜分别优化，第一组准直透镜以光线平行度作为优化目标，第二组和第三组以光斑大小为优化目标，需要注意三组透镜的光瞳匹配问题。根据我个人的经验和习惯，以光栅为孔径光阑，或者在狭缝后设置孔径光阑，由于狭缝提供的视场较小，光阑位置对像差的影响不大。狭缝长度为1.8毫米，宽度为50微米。

第一组为准直镜组，两片透镜的材料均为成都光明玻璃库首选材料，第三片为滤光片，光栅为每毫米300线，所用衍射级次为-1，光栅对应入射角为15°，如图3-1所示。

图3-1 准直透镜组

在光栅后增加第二组透镜，将色散开的平行光汇聚在DMD上。优化时可以采用Zemax的REAY和DIFF操作数控制不同波长对应光斑位置和DMD规格相匹配，另外可以在一定范围内优化光栅和DMD倾斜角度。优化结果如图3-2所示。

图3-2 汇聚透镜组

DMD元件对应Zemax中MEMS面型，可以编辑不同像元状态和旋转角度，在DMD后增加一组透镜，使各波长光线均能在单点探测器上汇聚，单点探测器像元为1mm。为了实现这个目标，第三组透镜应使出瞳与探测器位置接近，如图3-3所示。

图3-3 第三组透镜与DMD的开闭状态

最终的优化结果、DMD表面及探测器光线汇集情况如图3-4~图3-6所示。

图3-4 优化结果(滤光片没有显示)

图3-5 DMD表面汇聚情况（1290nm/1300nm/1310nm）

图3-6 探测器表面汇聚情况（900nm/1300nm/1700nm）

上面三张图说明设计结果满足10nm的光谱分辨率，同时结构紧凑，使用光学元件较少，满足使用需求。

四、总结

本文介绍了一种含有DMD的近红外光谱仪设计方法及设计结果，其中提到的一些细节可供相关技术人员参考。需要注意的是，本文未提到衍射效率的计算，这是由于衍射效率的精确计算较为复杂，读者可以自行学习并采用软件仿真。

在本文给出结果的基础上，仍存在光谱分辨率提高空间，感兴趣的读者可以自行尝试，后续我将再写一篇文章描述Czerny-Tumer 型反射式光谱仪的特点和设计方法。水印上的账号是我本人，大家可以关注一波