如何设计一个近红外光谱仪（1.概述）

一 基本情况

近红外光谱是指大约700-2500nm波长范围内的电磁波。基于近红外光谱的分析技术具有检测速度快、灵敏度高、无损伤检测等优点，在化学成分分析、质量检测等领域受到青睐[1]。随着食品[2-4]、化学化工[5]、航天遥感[6]和矿产勘探等特殊应用仪器对小型化和便携性的迫切需求，小型近红外光谱设备成为近年来的研究热点。

传统的光谱仪器体积大、功耗大、成本高、不便于二次开发，难以满足在特殊领域环境下的现场、实时、快速在线检测的应用需求。随着科学技术的发展以及各种检测环境的要求，光谱仪的小型化已是大势所趋。微型光谱仪体积小、价格低，生产厂商已越来越多，市场需求也越来越大。世界上，多个国家都将微型近红外光谱仪作为优先重点发展的分析仪器之一。中国也于2012年12月召开的香山科学会议上将微型近红外光谱仪器及关键器件列为“优先发展的工程”之一。

二 近红外光谱仪的种类

根据所采用的分光技术的不同，近红外光谱仪可分为阵列检测型、光谱扫描型、滤光片型、傅里叶变换型（Fourier transformation, FT）和阿达玛变换型（Hadamard transform, HT）等多种类型。阵列检测型、光谱扫描型和滤光片型属于经典色散型光谱仪，主要通过对不同波长的光进行空间或时间的分离，然后进行光谱读出；而傅里叶变换型和阿达玛变换型属于调制变换型，探测器探测后需通过逆变换完成光谱重构才能得到光谱信号。选取的分光方式将直接影响整个成像光谱仪的光学性能、结构形式、重量和体积等各方面[7, 8]。

2.1 阵列检测型

阵列检测型是小型光谱仪器常用的结构之一，由于光路固定、抗震性好、读取速度快，受到了航空航天、气象监测等应用领域的欢迎。

阵列检测型光谱仪的原理为入射光经过光学元件准直，之后由固定的光栅或棱镜分光，再由另一组光学元件聚焦到线阵列探测器上；光路中采用的光学元件又分为透镜型和反射镜型。透镜型是通过准直透镜组将狭缝入射的光线准直为平行光入射到分光元件上，再通过一另组透镜汇聚，图1. 1是德国徕卡公司设计的透镜型阵列检测式光谱仪。

图1. 1 LEICA公司的透镜型阵列检测式光谱仪

反射镜型是将透镜型的准直和汇聚镜组用反射镜代替，最常采用的结构为Czerny-Tumer型[9]，如图1.2所示：

 

图1.2 Czerny-Tumer型光谱仪结构

也有将反射镜和光栅集成为凹面光栅的，如图1.1所示，可以进一步简化光路[10, 11]。

图1.3 凹面光栅示意图

这类光谱仪的另一个优点是便于实现全谱段、全视场的像差校正。例如2019年中国科学院安徽光学精密机械研究所和合肥师范学院电子信息与电气工程学院共同设计的高分辨率近红外成像光谱仪光学系统，该系统主要由两个凹面光栅组成，且全视场全波段的像差都得到了很好的校正[12]，该光谱仪如图1.2所示。

 

图1.4 基于双凹面光栅的近红外光谱仪

阵列检测型微型光谱仪出光栅外的另一核心元件是阵列探测器，这使得该类光谱仪成本较高，而且由于阵列检测器的非均匀性影响信噪比，为了提高检测准确度，常常需要对探测器非均匀性进行校正。

2.2 光谱扫描型

光谱扫描型光谱仪是最早的光栅扫描型光谱仪，这种光谱仪往往基于阵列检测型光谱仪的结构，只是通过步进电机带动光栅转动进行扫描的方式，用单点探测器代替了阵列探测器，避免了像面非均匀性的影响。但由于这类仪器有移动部件，导致抗震性差，扫描速度相对较慢、易出现动态变形等缺点，主要用于对成本要求严格，环境相对稳定的检测场景。

在常规光栅扫描型的基础上，目前有发展出基于空间光调制器的和基于MEMS可变光栅的两类光谱扫描型光谱仪。

2.2.1 空间光调制器的光谱扫描型

在基于空间光调制器的光谱扫描型光谱仪中，主要用到的空间光调制器分为三种[13]：机械扫描空间光调制器、液晶空间光调制器以及数字微镜空间光调制器（Digital Micro-mirror Device，DMD），这三种空间光调制器优缺点如下：

表1.1 三种空间光调制器优缺点

种类	优点	缺点
机械扫描型	成本低，国产化	精度低，响应速度慢
液晶型	国产化	成本较高，响应速度较慢，容易造成错误编码
DMD型	成本低，响应速度快，光学效率高	被国外公司垄断

由于成本和稳定性的限制，这类光谱仪中最常用的空间光调制器是DMD，其工作原理如图1. 5所示：

 

图1. 5 DMD工作原理

当入射光与DMD面法线方向的方向角为24°时，DMD面的光也在法线的另一侧以24°出射，而不是进入光学系统。 当入射光与DMD法线方向成12°时，即微镜平面旋转12°时，入射光经DMD表面反射，进入后续光学系统； 当入射光与DMD面法线方向为36°时，微镜旋转-12°，反射光与入射光成72°出射，此时反射光最终被遮光板吸收，通过开关状态的切换，即可代替线阵探测器完成光谱扫描。整个光路如图1.6所示：

图1.6 DMD扫描型近红外光谱仪光路

通过折叠光路，这种类型的近红外光谱仪同样便于实现小型化，图1.7为美国德州仪器公司的DMD红外光谱仪。

 

图1.7 美国德州仪器公司的DMD红外光谱仪

2.2.2 基于MOEMS 扫描微光栅的光谱扫描型

近年来受到微机电系统发展的影响[14-16]，出现了一类基于MOEMS扫描微光栅的近红外光谱仪[17]，MOEMS（Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems）是一种将微电子技术、光学技术和机械制造技术相结合的新型技术。微光栅是MOEMS的一种重要应用，其可以进行光的调制和分析，广泛应用于光学成像、光谱分析等领域。MOEMS器件如图1.8所示：

图1.8 MOEMS器件

使用该类器件的光谱仪光路与光谱扫描型相近，可以降低近红外光谱仪系统的体积、功耗、装调难度和成本，并且具有较高的角度检测与控制精度[18]。但是由于该类器件的制造需要精密的加工技术，这不仅增加了制造难度，也提高了成本。此外，对于某些特殊应用，如高功率或高温环境，还需要开发新的材料和制造工艺。另外，将微光栅集成到系统中也是一个挑战。例如，需要解决微光栅的驱动和控制问题，以及与其他系统组件的接口问题。

尽管如此，MOEMS扫描微光栅是一个快速发展的领域，未来可能会有新的技术和应用出现，解决当前的问题并带来新的可能性。

三、总结

本文介绍了近红外光谱仪的背景和部分常见类型，实际上，查阅国内外文献资料的过程中可以发现，光谱仪的结构形式自由多变，面对不同的应用场景，可以有不同的技术路线，本文提及的种类类仅能管中窥豹。在后续的文章中，将以类似于图1.7中德州仪器近红外光谱仪的结构形式为例，介绍近光谱仪的设计方法，起到抛砖引玉的效果。

四、参考文献

（格式问题请见谅）

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[18]   罗彪. 面向近红外微型光谱仪的MOEMS扫描光栅微镜关键技术研究 [D]; 重庆大学, 2012.