软蚀刻(Soft Lithography)技术小记
最新推荐文章于 2024-09-21 19:00:00 发布
本文介绍了微流控技术中的一种关键制造方法——PDMS软光刻和聚合物模具。软光刻利用光刻胶在光照后的溶解性质,通过正性或负性光刻胶在衬底上复制微小图形,常用于微流控芯片的制作。此技术在微流控和半导体行业中有着广泛应用。
摘要由CSDN通过智能技术生成