光分束器,就是将光场以一定比例分开至不同的路径中。常用的片上光分束器有三种类型,即Y型分束器、MMI以及定向耦合器。以下分别介绍这三种分束器,并进行比较。
1. Y型分束器
该结构比较简单,由一个输入波导、一个锥形波导和一对输出波导组成。 Y型结构的对称性保证其50/50的分光比例,两臂的光场振幅与相位相同。由于光波导不能垂直转弯,两臂必须呈一定角度,而不是T字型,如下图所示,
上图结构的插损较大,约-2dB。
可以对Y型分叉区域做进一步优化,用于降低插损。文献1实现了0.28dB插损(实验值)的Y型分束器,其尺寸非常小,只有1.2um*2um, 并且可在80nm带宽内工作。该结构与其光学仿真结果如下图所示,
2. MMI型分束器(也称多模干涉耦合器)
MMI(Multimode Interference)耦合器也是集成光路中一种重要的波导器件。其结构紧凑、易于制作、损耗小、制作容差性好、偏振相关性小等优点,可用于多种光子器件的制作,如光功分器、模式分离器、光分波/合波器、光开关等。MMI型分束器的输入输出端口为单模波导,单模波导通过taper与多模波导相连,taper的作用是降低界面反射带来的损耗。
根据端口的数量,