抽象
对于便携式和可穿戴设备的应用，开发对各种类型的局部和细微机械位移敏感的能量收集器至关重要。日常生活中最丰富但难以收获的机械能之一是摩擦运动产生的面内动能。在这里，提出了一种有效的方法，通过在传统的摩擦电纳米发电机（TENG）上层压微观结构来从微小的水平力中产生电能。微毛结构用于在水平方向上施加接触摩擦压力或非接触式气流时，由可逆的机械弯曲驱动两种介电材料之间的接触摩擦。与没有微观结构的TENG器件相比，微结构的引入大大增强了相同情况下的能量收集。此外，带有微细柱的TENG器件可以在单个微柱下方的局部变形引起的微小机械变化（<0.2 Pa）下产生电输出。通过在微柱结构的TENG器件上摩擦纹理样品以诱导水平接触摩擦，证明了高能量产生能力。这些设备还可以有效地从非接触式流体气流中收集电能。通过在传统的TENG上组装微毛结构，可以收获更复杂和逼真的机械运动。
未来智能电子产品的一个显着趋势是多功能和可穿戴设备的快速增长，这些设备可以整合到布料织物，配件（手表，眼镜等）和人体皮肤中。1-3由于这些设备需要一致的电源才能用于长期和便携式应用，因此现有电池的有限来源被认为是一个技术障碍。原电池的定期充电或更换会导致维护时间和成本，从而阻碍便携式/可穿戴应用。为了解决可持续电力供应问题，已经深入研究了将外部刺激转化为电能的各种类型的能量收集器。5-11特别是，基于两个分离层的摩擦电效应的纳米发电机已被证明可以有效地利用日常生活中废弃的不规则机械能。11~16
为了有效地捕获摩擦电能，已经进行了广泛的研究，以开发具有各种摩擦材料组合和优化的微纳米结构的高性能摩擦电纳米发电机（TENG）器件，以提高电输出。18~20然而，开发的TENGs主要通过垂直压力的机械施加来操作，称为"垂直接触模式"。垂直模式TENG器件表现出较大的能量产生能力，但在某些机械操作中，有效和灵敏的能量产生有时受到限制。例如，关于通过人体运动产生能量的可穿戴TENG设备，摩擦作为能量产生源主要是由水平力（摩擦运动）而不是垂直力引起的。当上臂和侧翼在行走过程中自然摩擦时，该过程严格对应于由于水平力引起的剪切摩擦。对于可穿戴设备应用，TENG设备必须捕获面外和面内运动，因为在人类表面已经观察到各种方向的许多机械刺激。虽然其他类型的显着对称或不对称摩擦电能量收集装置可以捕获面内运动，例如滑动，22，23旋转，24，25振动，26和风，27，28演示了一种多功能策略，用于同时灵敏有效地收集各种面外和面内机械能（例如，滑动，旋转， 气流和振动）仍然是一个持续的挑战。为了捕获机械能的不同方向而不仅仅是垂直模式，应该修改架构，这通常会导致在垂直接触模式下牺牲收获能力。在实践中，应研究更务实的策略来收获各种方向，同时保持垂直方向的效率。
此外，最大的自然能源，如风和水，包括流体运动，其行为比"面外接触模式（例如垂直触摸）"更复杂。这种流体相互作用也存在于日常生活中的可穿戴设备中，表现为风、血管、潮湿条件等。具有两个分离层的传统方法无法捕获非接触式流体相互作用。为了利用流体运动的机械能并提高能量收集的效率，必须制定一种一般策略来收集涉及非接触流体的机械运动。
为了解决上述问题，我们报告了一种在面内刺激诱导的接触/非接触水平力下灵敏高效地产生能量的新策略。我们在典型架构TENG器件的表面上组装了微细柱。这些微细柱可以将面内滑动运动转换为两个分离层之间的垂直振动摩擦，从而可以在TENG器件中更有效地收集。与在裸露表面上施加垂直压力的情况相比，带有微细柱的装置在水平摩擦压力下表现出三倍的发电效率。此外，该装置可以在极小的机械变化（<0.2 Pa）下收集由单个微柱下方的局部变形引起的电功率输出，从而表明敏感的能量产生。通过在我们的微柱结构TENG设备上摩擦纹理表面以从水平接触摩擦中收集电能，证实了高效的能量产生。此外，TENG设备上的微细柱还可以有效地将流体运动转化为振动摩擦。由于柔性微柱形成涡流，导致TENG器件中的流体诱导振动（FIV）。通过利用这一特性，我们展示了在非接触式气流下灵敏而高效的能量收集能力。
图1a示意图显示了TENG器件在外部面内刺激下（包括接触摩擦触摸和非接触式气流）下具有微柱阵列的摩擦电能量产生。使用具有不同电子亲和力的聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）和聚（四氟乙烯）（PTFE）两种柔性介电材料作为摩擦电能产生的摩擦表面，使用丙烯酸中间层（0.1-1 mm厚度）隔离它们。微柱阵列（直径 30 μm，高度 180 μm，纵横比 （AR） = 6，六角形布局，≈4400 cm−2图1b的扫描电子显微镜（SEM）图像中所示的将TENG器件组装在TENG器件上。有关详细信息，请参阅实验部分。微细柱用于诱导两种介电材料之间的接触摩擦，由施加接触（摩擦触摸）或非接触（气流）面内刺激时触发的微柱下方的可逆机械弯曲（图1c）驱动，从而通过放大接触/非接触刺激更好地将相互作用力传递到下面的TENG器件。因此，TENG器件显示与时间和空间相关的连续输出信号，并重复由持续的面内刺激引起的两个介电层之间的摩擦和非摩擦行为（图1d）。此外，微细柱允许TENG器件响应局部和细微的机械位移，从而能够在微小的变化下灵敏地产生电能。它与摩擦活性表面上形成的微观结构进行比较，以增加摩擦电输出能量，因为到目前为止表面积有所改善。票价：29、30 元相反，我们在摩擦表面外形成的微柱有效地从面内刺激中产生电能，并且可以灵敏地检测微小的变化。通过仅使用柔性和透明材料，该器件具有光学透明性和机械柔韧性，因此可以应用于便携式和可穿戴电子设备和显示器。
图 1
接触和非接触刺激下的摩擦电能生成。a） 示意图显示了在外部面内刺激下使用带有微柱阵列的TENG器件进行能量收集，包括接触摩擦触摸和非接触式气流。b） 微柱阵列的扫描电镜图像。尺寸直径为 30 μm，高度为 180 μm，六边形布局中的 AR = 6。c） 通过面内刺激可逆地操作微细柱。d） 由于面内刺激产生的剪切力而产生的摩擦电能量的运行机构。e） 电介质之间的总接触压力作为刚性物体位移的函数。f） 摩擦过程中面内位移的三种状态的应力分布。刚性对象为灰色，位移用虚线标记。
为了比较有/不带微细管的TENG器件在面内刺激下的灵敏和高效的摩擦电发电能力，我们进行了有限元法（FEM）仿真。图1e显示了两个介电层之间的接触压力，作为在平坦表面和微柱上滑动的外部物体的平面位移的函数。当物体在平坦的表面上滑动时，接触压力是稳定的。由于电是由触点电气化和静电感应的综合作用产生的，因此稳态接触状态本身不能发电。相反，当物体在微细柱上滑动时，传递的接触压力比平坦表面外壳中的接触压力要小，但这种压力显示出类似振动的波动。这种接触压力的波动导致两个介电层之间的电荷转移，从而产生电力。这种相反的行为来自微柱上的滑动机制。当外部刚性物体以接触模式水平滑过微细柱时，滑动过程应包括物体与每个微柱之间的附着和分离过程。最后面的柱子与对象分离，下一个正面的支柱连接到对象。此转换过程的代表性快照如图 1f 所示。当外部物体与微细柱完全接触时，来自外部刺激的应力集中在最前面或最后面的柱子上，这取决于刚性物体的位置（参见图S1，支持信息）。在这种情况下，应力位于最后面的柱子上。相反，当最后面的柱子脱落时，这种应力会离域到多个背面柱子上。因此，传递到介电层的应力较小，导致与其他介电层的接触较弱。当外部物体到达下一个前侧柱时，内部应力再次集中在新的最后部柱子上，并且恢复到另一个介电层的应力转移。微细柱的重复应力离域和恢复导致产生电力的合同压力的振动样变化。因此，微柱在将面内刺激转换为两个介电层之间接触区域的类似振动的垂直压力方面起着关键作用。
图2通过实验比较了没有和有微观结构的典型TENG器件的电输出性能。如图2a所示，制备了三种类型的TENG器件，包括没有微观结构的TENG，带微线的TENG和带有微细管的TENG，并在设备上独立施加垂直或摩擦压力。垂直压力（≈50 kPa）施加在4 cm的接触区域2，随后将摩擦压力（≈50 kPa）连续施加在同一接触区域，摩擦速度为≈100 mm s−1，对应于人类感知中的最大摩擦速度范围，32 适用于所有情况。对TENG器件的输出信号进行了整流，以将摩擦电输出功率存储在商用电容器中。在没有微观结构的TENG器件上以2 Hz重复相同的垂直压力应用后，观察到瞬态电压峰值为170-200 V的典型电压输出（图2b）。在2 Hz的装卸循环的100 s内，连续压力输入以0.4 V的充电电压为电容器充电，如图2c所示。在该充电系统中未观察到可区分的放电行为（图S2，支持信息）。
图 2
具有微观结构的TENG器件的电输出性能。a） 在没有微观结构和有微观结构的TENG设备上施加垂直和摩擦压力的机械刺激的示意图。b，c） 垂直压力（≈50 kPa）为2 Hz时的电压输出和充电电压。垂直压力区域为 4 厘米2.d，e） 由于摩擦压力（≈50 kPa），TENG的电压输出和充电电压没有微观结构。f，g） 由于 x 轴和 y 轴方向的摩擦压力，TENG 的电压输出和充电电压具有微线模式。h，i） 由于 x 轴和 y 轴以及 45° 方向的摩擦压力，TENG 的电压输出和充电电压具有微柱模式。摩擦压力施加到总接触面积（4 cm）2） 摩擦速度为 ≈10 mm s−1.j） 示意图显示了微毛TENG装置通过微毛管与接触物体的粗糙表面之间的物理相互作用而运行的情况。k） 光学图像显示微细柱具有摩擦摩擦力的可逆弯曲变形。l） 在日常操作中，使用安装在身体顶部运动服顶部的TENG装置，在日常操作中不带微柱的TENG装置产生能量。
摩擦压力输入产生的电压输出信号类似于没有微观结构的TENG垂直压力输入下的电压输出信号（图2d）。由于滑动运动的接触和释放行为缓慢，产生的充电电压（0.22 V）较低（图2e）。随着微观结构的引入，摩擦压力引起的充电电压急剧增加。如图2f和图S3（支持信息）所示，单轴（y轴）摩擦压力在水平方向上穿过微线图案（50μm宽，75μm高度和50μm间距）连续诱导单个微观结构下方的上下介电表面之间的局部附着和分离。结果，根据微观结构的模式，观察到类似振动的输出信号。虽然输出电压的幅度低于没有微观结构的TENG器件的幅度，但充电电压（1.45 V）要高得多（图2g）。这种增加是通过典型TENG设备的快速和灵敏的振动检测能力来实现的;因此，33、34，所有单个微观结构在摩擦压力下作为摩擦电能量发生器运行。然而，由于其结构各向异性，微线TENG器件在x和y方向上的摩擦压力的带电电压不同。沿x轴的摩擦压力导致与没有微观结构的TENG设备上的摩擦压力相似的充电电压，如图2e所示。
各向异性线结构导致在x和y方向上摩擦的不同输出，但各向同性毛状微柱结构（直径50μm，高度75μm，间距50μm）导致充电电压不依赖于摩擦方向。如图2h所示，毛茸茸的TENG器件上的摩擦压力导致电压输出簇，如线型TENG器件的情况。虽然毛结构TENG器件在y轴摩擦压力下的带电电压略低于线型TENG器件在Y轴摩擦压力下的带电电压，但毛结构TENG器件在x轴和y轴摩擦压力下显示出几乎相同的带电电压（图2i）.当设备在45°方向上摩擦时，甚至累积了略高的电压。研究了功率密度和能量转换效率。输出电能（E输出） 在各种负载电阻下测量，并显示 0.71 W m 的最佳能量（功率）密度−2负载为30 MΩ时（图S4，支持信息）。功率密度值与之前报道的基于水平力的TENG器件相当。票价：35、36 元因此，转换效率达到21.3%，因为由于恒定的摩擦速度，表面摩擦在机械能中占主导地位（图S5，支持信息）。
如前所述，在典型的TENG器件上引入微观结构可显著增强面内摩擦压力下的能量输出特性。考虑到对于可穿戴设备，摩擦压力比垂直压力更占主导地位，这种将微观结构与TENG设备相结合的建议对于在便携式和可穿戴电子设备中产生电能将非常有效。此外，微结构设计，即毛状微柱结构，无论摩擦压力方向如何，都适合用作发电装置。请注意，通过组合微观结构，通常可以将改进的发电效率和灵敏度应用于典型的TENG器件，因为它们会产生类似振动的接触转变（图S6，支持信息）。
我们还测试了毛茸茸的TENG设备作为可穿戴能量收集设备的应用，通过摩擦织物引入可逆的接触压力。如图2j所示，当织物样品在毛茸茸的结构TENG器件上摩擦时，具有一定柔软度的接触物体的粗糙表面与微柱相互作用。物理接触相互作用诱导单个微细柱的可逆局部弯曲变形，如图2k的SEM图像所示。然后将弯曲应力传递到下层。结果，TENG器件的上部和下部介电表面仅通过摩擦产生摩擦电能。重要的是，我们的毛结构TENG器件可以使用柔软和微图案的织物有效地产生摩擦电能，这些织物在微柱之间产生非常小的相互作用力，并且表面粗糙度低（图S7，支持信息）。事实上，我们的设备可以通过隔离保险杠的高度调节，在单个微细柱下以≈.2 Pa的压力产生摩擦电能。此外，即使在100 000次装卸循环下，我们的设备也能显示可靠的电压输出（图S8，支持信息）。对于实际应用，TENG设备安装在车身顶部的运动服顶部，如图2l的插图所示。在运行过程中，带有微细柱的TENG器件比不带微细柱的TENG器件表现出更好的能量产生和存储性能（参见视频S1，支持信息）。
为了了解微细柱结构参数的影响，我们调整了微柱的高度和直径/间距。图3a显示了直径为30 μm，高度为180μm，间距为30μm的模型中过渡过程的快照。内部应力在柱子的边缘很好地离域，从而将较小的应力传递到电介质上。然而，当柱子较短时，如图3b所示（直径30μm，高度30μm，间距为30μm），变形不足以释放应力集中。内部应力仍然局限于边缘，并且巨大的应力被传递到另一个电介质上。这一结果表明，接触压力的变化减小，电荷转移应比较高的柱子弱。我们还测试了柱子周期性（直径45μm，高度180μm和45μm间距）的影响，如图3c所示。在这种情况下，柱子变形良好，但由于柱子之间的距离较大，应力离域较小。这意味着更少的支柱应该支撑接触，这阻碍了压力离域（参见图S9，支持信息）。因此，更高和更密集的柱子有利于在两个介电层之间诱导更多的电荷转移。实验结果显示出与有限元模拟预测的趋势相似的趋势。如图3d，e所示，由于电荷转移的改进，更高和更密集的微细柱在电容器中产生更高的充电电压。请注意，在滑动速度的摩擦压力下，如果接触物体可以在滑动运动期间在空间上分辨微细柱，则致密柱在产生摩擦电能方面更有效。结果表明，由于电荷转移的改善，更高和更密集的微柱在电容器中产生更高的充电电压。
图 3
微毛结构对摩擦电能产生的几何效应.a–c） 刚性物体在摩擦过程中在以下表面的应力分布：a） 直径 30 μm，高度 180 μm，间距为 30 μm，间距为 b） 直径为 30 μm，高度为 30 μm，间距为 30 μm，间距为 c） 直径为 45 μm，高度为 180 μm，微柱间距为 45 μm。d，e） 不同微柱高度和不同直径/间距下带电电压的实验结果。
为了扩展我们利用面内刺激的方法，我们还测试了非接触式气流产生的电力。首先进行了有限元模拟，以了解微细柱由于气流和传递到下面的TENG器件的振动压力引起的机械变形。图4a显示了TENG对30°角气流的响应（参见视频S2，支持信息）。当气流到达微细柱时，由于通道狭窄和部分反射，局部压力急剧增加。这种压力集中推动电介质层，导致接触和发电。电介质层的运动导致气流边界层的阻力，从而形成复杂的涡流。这些漩涡是不旋转的，高度动态的。如图4b和视频S3（支持信息）所示，气流的方向甚至在几毫秒内反转，这会使电介质层的移动方向从下向上改变。这些动态涡旋运动导致介电层的振动行为。相反，裸露表面的电介质层上的气流运动不显示这样的压力浓度;因此，电介质层的运动动态性较小（参见图S10，支持信息）。结果表明， 这些微观结构可有效捕获气流的非接触式面内刺激.
图 4
非接触式气流下毛结构TENG器件的能量生成。a） 气流压力分布和电介质的应力分布。气流用箭头标记，表明形成了复杂的漩涡。b） 标记区域中动态涡流的快照，黄色框位于（a）中。流动方向在2 ms.c）内反转，在不同的气流压力（0.02-0.20 MPa）下，AR微柱结构的毛状结构TENG器件的带电电压为1.5或6。d） 不同气流角度下毛结构TENG器件的带电电压。e） 与摩托车行驶时附着在车身上的毛茸茸的TENG装置的带电电压。
采用氮气气枪研究了不同气流压力对充电电压能量收集效率的影响。准备具有不同AR（AR = 1.5或6）的微柱，通过弯曲微柱将剪切力传递到下面的TENG器件。在我们的测量中，毛结构的TENG器件相对于水平气流压力表现出相对线性的带电电压输出（图4c）。由于剪切方向的气流引起的微柱的可逆位移在器件的电能收集中起着关键作用，其中较高的AR微柱比较低的AR微柱产生更高的能量产生效率。此外，毛结构的TENG装置可以在气流的不同入射角下收集电能。AR为6的微柱仅由于其高效和灵敏的能量收集能力而被使用。微细柱的弯曲会影响施加到下面的TENG装置上的力。如图4d所示，气流角是影响能量产生能力的另一个因素，因为涡流的动力学高度依赖于流入角（参见图S11，支持信息）。当气流完全垂直或水平时，由于动态涡旋形成较少，能量收集能力降低。作为现实生活中的例子，由于摩托车操作驱动的不连续风流，使用身体附着的毛状结构TENG装置收集摩擦电能量，如图4e所示。
最后，我们提出了一种策略，让TENG将面内动能转化为电能。TENG器件介电层表面顶部的组装微细柱有效地将面内滑动运动转化为垂直振动般的摩擦。这种现象是由于滑动运动在每个支柱之间过渡时瞬时应力消除。与裸露表面的设备相比，具有微柱的器件具有更高的能量产生效率和灵敏度。此外，这种微观结构在捕获由于形成动态涡旋而导致的非接触气流的面内动能方面非常有效。通过控制器件顶部的微观结构，我们的工作表明，TENG器件可以捕获各种类型的面内动能进行能量收集，以实现未来的可穿戴器件应用。
实验部分
微结构TENG器件的制备：对于典型的TENG器件，使用具有不同电子亲和力的聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）和聚（四氟乙烯）（PTFE）作为摩擦电能产生的摩擦表面。使用溅射系统在PET和PTFE摩擦表面的相对表面上涂覆100nm厚的铟锡氧化物（ITO）层。PET/ITO 和 PTFE/ITO 采用丙烯酸缓冲器（厚度为 0.1–1 mm）组装而成，可在无压力的情况下隔离面摩擦面（PET 和 PTFE）。对于微柱图案，首先从硅母模复制了聚（二甲基硅氧烷）（PDMS）模具（Sylgard 184，DOW Corning）。使用PDMS混合物（Sylgard 184，Dow Corning）的弹性体与交联剂的比例为10：1，然后搅拌1小时。将混合物倒在硅母上并进行涡流混合（30分钟），然后超声处理（1小时）。使用真空干燥器对PDMS混合物进行2 h的脱气。PDMS混合物在烘箱中在85°C下热固化后，PDMS主站完成。然后将聚聚氨酯丙烯酸酯（PUA）预聚物（PUA MINS 311 RM）分配到PDMS母版上。最后，将图案化的PUA模具与PDMS模具分离。微柱图案最终组装在典型的TENG设备上。
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