EDA（Interface A）功能描述

设备与其EDA客户端之间的通信是通过定义良好的XML/SOAP接口实现的。经过身份验证的客户端可以请求感兴趣的数据，或者询问工具以查看哪些数据可用。为了使EDA客户端能够从任何类型的设备收集数据，必须为每个工具定义一个通用设备模型（CEM），该模型提供设备、其物理硬件和逻辑软件组件以及它们可以提供的所有数据的结构化视图：对象、属性（变量）、事件和异常（警报）。这通常包括工具支持的SEMI标准规定的所有数据，以及额外的硬件或过程特定数据，如传感器读数和处理结果。EDA客户端然后可以定义自定义数据收集计划，以检索与其相关的设备数据。

设备端SECS/GEM软件如需支持EDA,需至少有以下四个功能

1.客户端身份验证

2.客户端会话管理

3.获取设备元数据（通用设备模型）需要知道设备有哪些属性，事件，对象和异常

4.数据采集计划 （根据机台元数据定制数据采集计划以改善故障率）

EDA需满足通用性需求，相应设备端应满足SEMI标准规范，即要求有可配置的设备模型自我描述文件。 最好是xml文件，方便EDA通过SOAP获取。目前国内所有做设备的端SECS的（*苹果，严控，哥瑞丽，上扬等）都不具备此功能，做高端设备的注意避坑