HSMS 定义了传输协议,类似TCP/IP, 包括连接怎么建立,怎么保证连接安全稳定,报文是怎么组织的以及超时设置等等 可参看SEMI协议E37。
SECSII 定义了消息格式, SxFx代表什么功能 S1F1 就表示问询设备有人在吗,S1F2回复表示我有人在, 然后S1F13 问询你是谁,设备恢复S1F14 表示我是谁软件版本号是那个,模型号是那个。
GEM (EMI E30 : Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (制造设备通信和控制的通用模型)) 定义了有哪些指令,指令间怎么交互的以及怎么做到通用性。
其中非常重要的一点是E39对象模型,他定义了对象怎么做,可以最大的通用化,甚至可以远程创建,这也是高端机台的一个重要功能。
国内的绝大多数只是实现了HSMS和SECSII 连个设备模型都没有,连E39对象是什么都不知道,就敢说甚至都敢说实现了GEM、GEM300,导致客户大量的定制工作甚至功能的缺失。广州金什么果,上海什么瑞都属于此列