SECS/GEM300协议通讯平台

最新推荐文章于 2024-02-02 16:40:17 发布

半导体老油条

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分类专栏： SECSGEM 半导体文章标签：大数据

本文链接：https://blog.csdn.net/qq_26187151/article/details/125830898

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SECS/GEM是半导体行业设备与工厂通信的基础，适用于300mm晶圆自动化运行，被台积电等大公司广泛采用。SECS/GEM包括E30 GEM标准，描述了主机与设备间的通信和控制，实现远程命令、事件报告、警报处理等功能，确保晶圆厂高效自动化运营。

摘要由CSDN通过智能技术生成

半导体认可SECS/GEM

多年来，SECS/GEM一直是半导体行业工厂/设备通信和控制系统的支柱。这意味着今天所有的半导体制造完全依赖于SECS/GEM通信。自90年代末以来，300mm半导体工厂一直在以SECS/GEM通信为基础的全自动化运行——像台积电、三星、美光、英特尔、东芝等大公司在每个工厂7*24小时的使用SECS/GEM。平板显示器、高亮度LED和光伏等其他行业也正式开始使用SECS/GEM，因为它们认识到SECS/GEM特性可以应用于任何制造设备，以支持关键任务的应用。

SECS / GEM＆GEM300是一套用于半导体设备和工厂主机的通信协议。这些标准由SEMI维护。虽然GEM300指的是一套300mm晶圆的通信标准，远远超过200mm晶圆的通信标准，但SECS / GEM被用作200和300mm通信协议以及其他自动化标准的通用术语。

SEMI E30 GEM标准描述了工厂主机（MES）和生产设备之间应如何支持通信和控制功能。详细场景概述了SECS-II消息（如SEMI E5标准中所定义）的确切顺序和子集，这些消息应该用于实现特定功能，以及必须向主机提供哪些支持工具数据。其目的是收集足够的信息，使主机能够深入了解工具的性能，并有足够的监督控制来远程管理产品加工，因此工厂车间并不总是需要操作员在场。