SECS/GEM300半导体标准,12寸晶圆半导体标准

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GEM300软件介绍
金南瓜提供简易、快速的半导体 SECS/GEM300服务支持。JNG SECS/GEM300支持协议E5、E30、E37、E40、E87、E90、E94、E116等标准。

  1. 金南瓜SECS/GEM300产品稳定易用,用户无需关心Job的处理以及相关的300mm标准知识。
  2. 金南瓜拥有成熟的SECS/GEM300实施经验,为多个设备厂商提供设备支持GEM300,并且稳定运行于国内多个FAB厂。
  3. 我们的客户设备有湿法、退火、气体沉淀、离子注入、外延等设备
  4. 金南瓜GEM300满足APC、FDC和EAP的高性能要求,并且运行稳定。
  5. 设备无缝对接EAP系统,从OHT天车放料到生产过程中,顺畅自然。我们以毫秒级交互别为目标,并非友商能用就行的实施态度。
  6. 满足FDC的高指标要求,大数据分析设备生产过程中的任何状态,包含大量的传感器,数千的传感器实时监控设备各项内容。通过大量的传感器反馈机制,设备快速的微调各项参数而保证持久稳定。FDC对于SDK的要求非常高,生产过程中时刻采集大量的数据,监控设备整体的实时情况
  7. 支持Run To Run使用场景,产品功能强大性与世界级接轨。
    符合半导体设备安全设计考量,避免客户误操作导致的设备危险性动作问题。
  8. 数字孪生已经成为工业4.0最强有力的概念之一。通过整个制造和生产过程基于模型、实时、云回路监控、控制和优化的实现,数字孪生有助于达到实时集成制造的组织实施。

在这里插入图片描述

这些标准的实施增加了SECS/GEM接口的复杂性,这意味着在开发,测试,文档化和支持工作系统方面需要更多的时间和费用。

金南瓜已经提供基础的SECS/GEM支持,在金南瓜科技的引导下进而轻松实施300mm,并且由于其复杂性,不专业的提供商的产品无法保证稳定性。

功能亮点:

  1. 金南瓜针对300mm标准和所有SECS/GEM消息类型进行内置逻辑,无需编码SECS/GEM消息处理

  2. 已经在4个Load Port及多作业工位设备上实施成功,并且稳定运行于现场。

  3. 设备开发人员选择要部署的标准,可以灵活性调整SECS/GEM配置以适应设备,并且设备开发人员不用关心300mm以外的关联协议问题。

  4. 大量而又不精准的标准已经被整理成清晰与明确、一致、有效且经过测试的应用程序代码。不用浪费您的工程师时间去弄清楚它的含义,如何将每个部分组合成一个有凝聚力的设计,以及如何构建与设备控制系统的集成,设计优秀的设备。

应用现场:

中芯国际 、长江存储、长鑫存储、士兰、长电科技、华天

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