一款新的、低成本的、高效的PIC？

EPFL的领导团队，以其卓越的智慧和精湛的技术，成功打造了一款基于钽酸锂的PIC平台，为光子学领域带来了前所未有的突破。

硅基PIC以其低廉的成本和与现有半导体制造技术的无缝融合，一直占据着光子学的主导地位。然而，在电光调制带宽方面，它却显得捉襟见肘，无法满足日益增长的高速通信需求。

此时，绝缘体上铌酸锂晶片平台凭借其卓越的普克尔系数脱颖而出，成为光子集成电光调制器的理想之选。普克尔系数对于高速光学调制而言，如同引擎对于赛车，是不可或缺的核心要素。然而，高昂的成本和复杂的生产要求，使得铌酸锂在商业化道路上步履维艰。

如今，EPFL的托拜厄斯·J·基彭伯格与上海微系统与信息技术研究所的辛欧联手，引领科学家们攻克难题，成功开发出基于钽酸锂的新型PIC平台。钽酸锂，作为铌酸锂的近亲，不仅继承了其优异的电光特性，更在可扩展性和成本方面展现出明显优势。它早已在电信行业大放异彩，作为5G射频滤波器的关键材料，展现了广阔的应用前景。

这个新型PIC平台充分利用了钽酸锂的固有优势，通过实现高质量PICs的经济可行性，为光子学领域带来了一场革命。这一突破性的成果，在《自然》杂志的“使用铌酸锂集成光子的超快可调激光器”一文中得以彰显。

研究团队巧妙开发了一种与绝缘体上硅生产线相兼容的LiTaO3晶片键合方法。他们运用类金刚石碳薄膜作为掩蔽层，精细地蚀刻出光波导、调制器和超高质量因数的微谐振器。这一过程中，团队结合深紫外光刻和干法蚀刻技术，经过精心调整和优化，成功将更硬、更惰性的钽酸锂材料蚀刻得恰到好处。这不仅最大限度地减少了光学损失，更实现了光子电路的高性能表现。

通过这一方法，研究团队成功制造出了在电信波长下光损耗率仅为5.6 dB/m的高效钽酸锂PIC。其中，电光马赫曾德调制器（MZM）作为高速光纤通信中的关键设备，其性能在LiTaO3平台上得到了显著提升。LiTaO3 MZM的半波电压长度积达到了1.9 V cm，电光带宽更是高达40 GHz，为高速通信提供了强大的技术支持。

研究团队的首席作者王成利表示：“在保持高效电光性能的同时，我们还在这个平台上生成了孤子微梳。这些孤子微梳具有大量相干频率，当与电光调制能力相结合时，将为并行相干激光雷达和光子计算等应用提供无限可能。”

此外，LiTaO3 PIC的双折射率降低特性使得电路配置更为密集，确保了其在所有电信频段内的广泛操作能力。这一突破性的成果为可扩展、经济高效的先进电光PIC制造奠定了坚实基础，预示着光子学领域将迎来更加美好的未来。

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