放假8天也要学习篇2：TRL校准技术

放假是不可能放假的，卷起来！哈哈哈哈！

在集成电路 EMC 建模中，经常会进行散射参数（S参数）测量，它可以通过矢量网络分析仪来完成。校准是测试工作的第一步，根据测量的需要和精度的要求选用适合的校准方法，在整个S参数测试中起着非常重要的作用。

TRL校准适用于非同轴环境，如微带线、共面波导的测量，也适用于夹具内部的校准或晶圆上的探测。因此，在测量芯片管脚这种非同轴路径时，比较适合使用TRL校准。

图 1 中给出了一种 8 项误差模型的信号流图。为了消除图1中的误差项，需要使用一定的校准方法。

图1.8项误差模型信号流图

根据图2中的 TRL 信号流图，可以得到 3 组特定情况的方程式。通过解方程最终可以得出过渡部分的 S 参数，这样校准后的测试系统就可以测得任意模型的 S 参数。实际上，待测件在测试时，这个计算过程是由矢量网络分析仪完成的。但是，校准后的测试精度是由三个校准件本身所决定。因此如何设计专用TRL校准件是非常重要的。

（a）直通

（b）反射

（c）传输线

图2.TRL校准件信号流图

（a）直通（b）反射（c）传输线

TRL校准件在制作时应遵循以下要求:

(1) 直通件:电气长度为零时，无损耗，无反射，传输系数为 1; 电气长度不为零时，特性阻抗必须与延迟线标准件相同(通过仿真设计保证阻抗一致性) ; 无需知道损耗。

(2) 反射件:反射系数的相位必须在±90°以内，反射系数最好接近于 1（通过仿真设计使校准件阻抗远远小于特性阻抗） ，所有端口上的反射系数必须相同（夹具两端校准件对称）。

(3) 延迟线/匹配负载: 延迟线的特性阻抗作为测量时的参考阻抗，系统阻抗定义为和延迟线特性阻抗一致。延迟线和直通之间的插入相位差值必须在 20° ～ 120°之间（或-20° ～ -120°) ，如果相位差值接近 0°或 180°，由于正切函数的特性，很容易造成相位模糊。另外，最优的相位差值一般取 1/4 波长或 90°。当工作频率范围大于 8∶1时，即频率跨度与起始频率比值大于 8 时，必须使用 1 条以上的延迟线，以覆盖整个频率范围。当工作频率太高时，1 /4 波长的延迟线物理尺寸很短，不好制作，这时候，最好是选择非零长度的直通，利用两者的差值，来增大延迟线的物理尺寸。

为了测试某芯片的管脚阻抗，依据上述规则，小编设计了如图3、4所示的TRL校准板和测试板。

最后，值得说明的是在实际工程应用中，TRL校准法使用时要求校准件与被测件为同一衬底材料，而且被测件上的过渡传输线部分与校准件也要完全一致（PCB的叠层、介电常数、走线的长度、宽度、厚度等等）。

图3.TRL校准板

图4. EUT测试板