晶圆级封装概述

封装完整晶圆

晶圆级封装是指晶圆切割前的工艺。晶圆级封装分为扇入型晶圆级芯片封装(Fan-In WLCSP)和扇出型晶圆级芯片封装(Fan-Out WLCSP),其特点是在整个封装过程中,晶圆始终保持完整。除此之外,重新分配层(RDL)封装、倒片(Flip Chip)封装及硅通孔1(TSV)封装通常也被归类为晶圆级封装,尽管这些封装方法在晶圆切割前仅完成了部分工序。

半导体产品在由二维向三维发展,从技术发展方向半导体产品出现了系统级封装(SiP)等新的封装方式,从技术实现方法出现了倒装(FlipChip),凸块(Bumping),晶圆级封装(Waferlevelpackage),2.5D封装(interposer,RDL等),3D封装(TSV)等先进封装技术。

SoC:全称System-on-chip,系统级芯片,是芯片内不同功能电路的高度集成的芯片产品。

SiP:全称System-in-package,系统级封装,是将多种功能芯片,包括处理器、存储器等功能芯片集成在一个封装内,从而实现一个基本完整的功能。

传统封装:

从最初的三极管直插时期后开始产生。传统封装过程如下:将晶圆切割为晶粒(Die)后,使晶粒贴合到相应的基板架的小岛(LeadframePad)上,再利用导线将晶片的接合焊盘与基板的引脚相连(WireBond),实现电气连接,最后用外壳加以保护(Mold,或Encapsulation)。典型封装方式有DIP、SOP、TSOP、QFP等。

先进封装 

主要是指倒装(FlipChip),凸块(Bumping),晶圆级封装(Waferlevelpackage),2.5D封装(interposer,RDL等),3D封装(TSV)等封装技术。

先进封装在诞生之初只有WLP,2.5D封装和3D封装几种选择,近年来,先进封装的发展呈爆炸式向各个方向发展,而每个开发相关技术的公司都将自己的技术独立命名注册商标,如台积电的InFO、CoWoS,日月光的FoCoS,Amkor的SLIM、SWIFT等。

FlipChip :指的是芯片倒装,以往的封装技术都是将芯片的有源区面朝上,背对基板和贴后键合。

Bumping是一种新型的芯片与基板间电气互联的方式。

FIWLP:全称Fan-inWafer-levelpackaging,又称WLCSP(Wafer-levelChipScalePackage),扇入式晶圆级封装,也就是传统的晶圆级封装,切割晶粒在最后进行,适用于低引脚数的集成电路。

FOWLP:全称Fan-outWafer-levelpackaging,扇出式晶圆级封装,开始就将晶粒切割,再重布在一块新的人工模塑晶圆上。

RDL(Redistributionlayer,再分布层):在晶圆水平上,触点再分布可以很高效的进行。

TSV(Through-siliconvia,硅通孔):Bump和RDL会占用芯片接合到基板上的平面面积,TSV可以将芯片堆叠起来使三维空间被利用起来。

PoP(PackageonPackage,堆叠封装):PoP是一种将分离的逻辑和存储BGA(Ballgridarray,球状引脚栅格阵列)包在垂直方向上结合起来的封装技术。在这种结构中,两层以上的封装单元自下而上堆叠在一起,中间留有介质层来传输信号。

MEMS封装:微机电系统在近些年应用越来越广泛,随着传感器、物联网应用的大规模落地,MEMS封装也备受关注。MEMS的封装不同于集成电路封装,分为芯片级、模组级、卡级、板级、门级等多元垂直分级封装,设计时也需考虑不同模组间的相互影响。

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