窄线宽半导体激光器的研究进展

目录

一、引言：

二、国内外的研究现状：

三、方法：

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一、引言：

本文主要是针对用作目前的智能汽车的激光雷达来讲，因为作为无人车的激光雷达，它需要分辨率高，抗有源干扰性强，体积小，重量轻，成本低，而作为全固态激光雷达的理想光源窄线宽半导体激光器被广泛研究，对该激光器的国内外研究现状，发展的手段等进行一一总结。

目的：进一步提升激光器的扫描速率，增加探测距离和成像清晰度

手段：需要提高半导体激光器的光谱性能，压窄线宽，抑制低相位噪声和低相对强度噪声。

对于压窄线宽，能提高激光雷达的探测距离和成像清晰度，对于压窄线宽主要有增加输出功率，减小线宽增强因子，减小固有线宽。

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二、国内外的研究现状：

主要方法：内腔光反馈与外腔光反馈；

国外：内腔光反馈：各机构采用新型外延芯片结构和新型光栅制备技术，降低至10khz；2016年，德国卡塞尔大学提出一种高质量量子点分布反馈式激光器，压缩至10khz；芬兰坦佩雷大学利用纳米压印技术制备出侧向耦合表面光栅DFB激光器小于10khz；外腔反馈光方面：德国 FBH 研究所利用DFB 激光芯片与集成式共焦法布里波罗谐振器等组成共振反馈谐振腔，洛仑兹线宽仅15.7hz，国际最高。
国内：内腔光反馈已降低至khz量级，中国科学院半导体研究所 报道了基于单片集成非对称相移 DFB 激光器开发的窄线宽激光器模块, 实现激发波长 1550 nm, 激光功率 26 mW, 最窄激光线宽达到 35 kHz. 在外腔光反馈技术方面, 中国计量科学研究院 [5] 采用高精度双镜式非共焦腔 Littman 结构, 成功降低外腔半导体激光器的激光线宽至 100 Hz, 瞬时洛伦兹线宽降低至 30 Hz.

三、方法：

 

基于内腔光反馈技术的窄线宽半导体激光器通常采用集成布拉格光栅或者特殊波导结构的方案。

具体的做法还得参看文章。

《窄线宽半导体激光器研究进展》
 

四、总结：

半导体激光器正向着高功率、窄线宽的方向快速发展, 内腔反馈技术方面, 通过激光芯片外延结 构和波导结构的分别优化设计, 获得低于 10 kHz 的窄线宽激光输出; 外腔反馈技术方面, 通过不断开发新型光反馈元件和光学谐振腔设计, 实现低于 100 Hz 的超窄线宽激光, 结合其体积小、重量轻、高转换效率、光谱范围广等特性, 将在超高精度激光雷达、卫星间通信、相干光通信、激光光谱学、原子钟泵浦、大气吸收测量及光纤通信等领域获得极其广泛的应用.目前, 我国在窄线宽半导体激光器研究领域, 由于起步较晚、工艺技术限制及国外的高端技术封锁等因素, 与国外仍有一定差距, 需要进一步提高半导体激光器的功率和光谱特性; 解决二次高质量外延生长技术和表面光栅的高深宽比刻蚀技术; 攻克高精度光栅等光学反馈元件制造关键技术; 亟待整合国内优势单位进行联合研发, 突破关键技术, 实现高功率、窄线宽半导体激光器的自主化研发。