mirror shot定位是什么?
晶圆厂让我们选择封装的时候是否需要mirror shot定位。
mirror shot是中心点对齐,maximum就看怎么排能有最多的有效die。
mirror shot是为了封装定位用的,大概的意思,就是在wafer的边缘,不完整的shot处,做Al的时候不曝光,则这个不完整的shot,因为Al都在,就会像镜子一样。封装厂在map封装的时候,可以根据这个mirror die轻松定位。如果不做mirror die,则封装的时候,只能靠人工数芯片数量来对map,如果die size较小,很容易数错。所以原则上,最好是要走mirror die的。这个叫eye die。Mirror shot要占面积,这个位置的本来可以产出一些好芯片的。
mirror shot
最新推荐文章于 2024-07-10 22:03:46 发布