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原创 MEMS惯导—BOSCH SMI8xy系列芯片解读(1)

1.用途1)IMU :惯性测量单元;2)ESP/VDC:电子稳定程序/车辆动态控制;3)RSC : 侧翻稳定控制;4)RoSe : 侧翻过大感应;5)AS : 主动转向;6)ADAS :高级辅助驾驶系统各种应用举例见图1。图1 用途举例2.基本架构 包含两个MEMS元件和一个ASIC,简图如图2所示。图2 SMI8xy传感器简图 主要功能模块详细结构如图3所示。图3 SMI8xy功能模块以及引脚功能CMG:是角速度测量元件,也就是MEMS陀螺部分;CMA:是加速度测量元件,也就是MEMS加表部分

2022-06-03 23:31:21 2098 1

原创 MEMS 惯导—芯片中换能器的作用

MEMS惯性传感器芯片由输入的加速度或角速率信号产生的惯性力转变为质量块偏移或应变变化等物理变化,之后再由相应的换能器识别并转换为电信号。该信号经过线性或非线性滤波等处理,得到对输入信号的解算,最终输出值代表了对测量的加速度或角速率的校准值。下面来介绍一下换能器的一些概念、原理、种类、特点等。1、换能器:惯性MEMS器件中用于获取测量系统反应的感应元件和激励机械系统的致动器;2、种类:压阻式换能器、压电式换能器、电容式换能器(常用);3、电容换能器;3.1 特点:温度敏感性低、漂...

2022-04-23 23:01:58 2762

原创 MEMS惯导—芯片封装有多重要

MEMS封装是将MEMS裸片封装在一个壳体中,从而保护MEMS结构和信号处理单元。封装装配包括如划片、裂片、粘片、裸片间互连、外围接口互连和密封等从圆片加工完到最终密封成产品之间的所有步骤。MEMS封装成本很高,但对实现预定的性能指标非常关键。但是,为实现传感器的目标性能,不可能对封装特性进行单独测试。通常封装参数对器件功能和可靠性的影响只能通过对最终器件的全面测试和量化表征来反应。MEMS封装与传感器设计和测量标定关系密...

2022-04-12 22:55:30 2809 4

空空如也

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