MEMS 惯导—芯片中换能器的作用

      MEMS惯性传感器芯片由输入的加速度或角速率信号产生的惯性力转变为质量块偏移或应变变化等物理变化，之后再由相应的换能器识别并转换为电信号。该信号经过线性或非线性滤波等处理，得到对输入信号的解算，最终输出值代表了对测量的加速度或角速率的校准值。下面来介绍一下换能器的一些概念、原理、种类、特点等。

1、换能器：惯性MEMS器件中用于获取测量系统反应的感应元件和激励机械系统的致动器，它能将运动测量单元的输出转换成电信号或进行相反的转换，例图见图1；

图1 MEMS陀螺中的换能器举例（图片来自网络）

2、常见种类：压阻式换能器、压电式换能器、电容式换能器（常用）；

2.1 压阻式换能器

     压阻式换能器是一种利用压电电阻效应将压力转换成电信号的敏感换能器。压电电阻效应由Lord Kelvin发现，变现为一些金属在受到压力时电阻率会增加。在MEMS惯性传感器中常使用硅压阻式传感器设计体硅加速度，其灵敏度可以通过应变系数标定，即