光束法区域网平差C语言程序_【十大进展候选】基于双光束交叠法的5nm超高精度激光直写技术...

近日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸教授与国家纳米中心刘前教授领导的课题组利用双激光束交叠法，基于光热反应机理，实现了特征尺寸5 nm的超高精度加工，打破了衍射极限的1/55，并且制备出了反应“热点”位置和强度可控的电调制微纳传感器。相关研究成果以“5 nm Nanogap Electrodes and Arrays by a Super-resolution Laser Lithography”为题发表在Nano Letters上。

“2020中国光学十大进展”候选推荐

图1 (a)亚10nm图形结构的应用领域和方向；(b)基于常规光化学机理的激光直写技术；(c)基于光热机理的激光直写技术。

亚10 nm的结构在集成电路、光子芯片、微纳传感、光电芯片、纳米器件等技术领域有着巨大的应用需求(图1a)，这对微纳加工的效率和精度提出了许多新的挑战。激光直写作为一种高性价比的光刻技术，