原子力显微镜(Atomic Force Microscope ,AFM),一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。
1 原子力显微镜的样品制备
根据针尖与试样表面相互作用力的变化,AFM主要有3种操作模式:接触模式(contact mode),非接触模式(non-contact mode)和敲击模式(tapping mode)。
接触模式(Contact Mode):AFM最直接的成像模式。在整个扫描成像过程之中,探针针尖始终与样品表面保持接触,而相互作用力是排斥力。扫描时,悬臂施加在针尖上的力有可能破坏试样的表面结构,因此力的大小范围在10-10~10-6N。若样品表面柔嫩而不能承受这样的力,则不宜选用接触模式对样品表面进行成像。
非接触模式(non-contact mode):非接触模式探测试样表