EAP系统用于控制半导体设备进行自动化生产。与MES系统整合,校验产品信息,自动做账,同时收集产品生产过程中的制程数据和设备参数数据,帮助提高半导体工厂的生产效率,避免人工操作失误,提高产品良率。
而要实现EAP的相关功能,就必须要了解SECS/GEM 相关知识。
SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中,接口可以启动和停止设备处理,收集测量数据,更改变量并为产品选择配方。
SECS(SEMI设备通信标准)/ GEM(通用设备模型)标准以确定的方式完成所有这些工作。由SEMI(半导体设备和材料国际)组织开发,该标准定义了一套通用的设备行为和通信能力。
通用和控制制造设备(GEM)标准的通用模型由非营利组织半导体设备和材料国际(SEMI)维护和发布。
一般来说,SECS / GEM标准定义了消息,状态机和场景,以使工厂软件能够控制和监控制造设备。
GEM标准正式指定并称为SEMI标准E30,但通常简称为GEM或SECS / GEM标准。为支持半导体设备制造商的制造自动化程序提供功能性和灵活性, GEM是SECS-II标准SEMI标准E5的标准实施。半导体(前端和后端),表面安装技术,电子组件,光伏,平板显示器和其他制造行业中的许多设备在制造设备上提供GEM / SECS接口,以便工厂主机软件可以与机器通信用于监视和/或控制目的。由于GEM标准是用很少的半导体特性编写的,因此它可以应用于任何行业的几乎任何自动化制造设备。
所有符合GEM的生产设备都具有一致的界面和一定的行为。 GEM设备可以使用TCP / IP(使用HSMS标准&#x