匀胶/显影机台有多少个热板和冷板?

知识星球（星球名：芯片制造与封测社区，星球号：63559049）里的学员问：请问track中的热板（Hot plate）与冷板（CP）的作用是什么？分别有几个？ track是什么？

光刻工序中的track机台（Track System），用于光刻工艺中光刻胶的涂布、烘烤、显影等步骤。它可与曝光机配合使用，完成从涂胶到显影的全过程。如果track，曝光机是分离开的，没有直接的物理连接集成在一起，就被称为"offline"。如果曝光机，track连接在一起，就被称为“inline”。我昨天写的《KrF光刻机有几个热板与冷板》，没有指明清楚，造成了一些误解，其实我指的是集成了KrF光刻机的整个“inline”需要的热板与冷板数。

      热板与冷板的作用

热板：在涂覆光刻胶后，使用热板对其进行软烘，以去除溶剂并提高其粘度；在曝光后，热板用于进行PEB过程，进一步驱逐残余的溶剂，稳定光刻胶的结构，减少曝光后的形变和模糊；显影后，使用热板进行坚膜，增强光刻胶的抗腐蚀性。

冷板：在每次热烘步骤之后，自然冷却时间太久，为了提高效率，需要使用冷板快速冷却光刻胶。这有助于快速固化光刻胶，减少热应力和热变形。

track中热板与冷板的数量配置
根据热板与冷板的特点，以及每个工序的要求，在晶圆厂中，track机台一般是多腔室的。在多腔室的track机台，用到热板的次数相对变多，那么热板的数量要大于冷板数量，可以按4:1或3：1的比例配置。而在腔室数量较少的track机台中，或某些干膜的显影机台中，也见过1：1的比例。当然在配置的核心是不让晶圆长时间等待下一个工序，合理利用机台。例如与某款track机台共有4个腔室，预留了热板与冷板的位置共有10个，那么热板可以达到8个，而冷板则为2个。
热板与冷板的温度
一般热板的上限温度在200℃以内，而冷板则要接在PCW上循环降温即可。因为温度过高会导致光刻胶变形，回流，没有必要设置过高的温度上限。

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