前两期的文章,我们总结了部分晶圆厂常见口语,见文章:
读者的反响很好,在评论区我们又挑出和补充了一些口语,并做出了解释:
1,pie highlight 的这个case 你今天call个meeting
①,PIE:Process Integration Engineer,即工艺整合工程师。
②,highlight:重点强调
③,case"是指具体的问题或案子。
整个句子的解释为:工艺整合工程师重点强调的这个案子,你今天召集一个会议来讨论一下。
2,mail loop;意见align一下,aligh 好之后,排个priority给我。
①align:对,统一
②,priority:优先级
整句解释为:邮件发出去,让大家都知道,一起讨论。对好之后,排个优先级给我,
3,告诉客户他们这个月的bullet用完了,不是我们不support。
整句解释为:告诉客户他们这个月的服务次数(余额)用完了,不是我们不帮他做。
4,mask: xxx testkey尺寸超出frame了,麻烦要改一下。
testkey:晶圆加工中为了监测工艺而加入在晶圆固定位置的测试单元。
frame:光罩的边框范围
RE: 我这metal往上移的话,和dummy的space就不够了呀,你们TD这边觉得可以waive吗?不行的话重新跑lota dummy还得重新check,很废时间啊
metal:金属层
dummy:此处指测试的结构,
spcae:间距。如果移动金属层的位置,可能会导致与dummy结构之间的间距不足,不符合设计规则。
TD:研发
waive:接受,豁免,放。
lota:Lot Acceptance,将设计交付给光罩制造前,对设计数据进行的一系列检查和验证。
check:检查
TD: 奇怪,baseline明明是没有超出呀,这工艺上倒是ok,但不符合rule,我不能下这个comment呀,你是owner,你说ok就ok,还是问下mask能不能把frame扩大1μ吧。
baseline:BSL,基准,标准。
rule:设计规则。
comment:结论,指令
owner:项目的拥有者
由于时间关系,先总结到这里,后续还会再总结一些。