MEMS陀螺仪传感器的原理

MEMS陀螺仪传感器的原理

首先了解一下MEMS加速度计的原理，简图如下图所示，其中质量块mass被弹簧springs支撑，使得其只能沿着预定方向位移，从而检测特定方向的加速度；绿的部分是固定的电极板Fixed plates。检测原理是当质量块感受到加速度时，会在相应方向产生位移，从而使得固定电极板构成的两个平行板电容器C1，C2的电容大小发生改变，检测其电容值大小即可换算成相应的加速度。

MEMS陀螺仪
**工作原理简介：**MEMS陀螺仪的检测原理与MEMS加速度计类似，它基于科里奥利效应（Coriolis Effect）所产生的科里奥利力（Coriolis Force）而设计的。
如下图所示，MEMS陀螺仪的核心是一个微加工机械单元，其讯号调节电路可以分为马达驱动和加速度计感测电路两个部分。其中，马达驱动部分是透过静电引动方法，产生一个音叉机制共振运动，为机械元件提供激励；科里奥利力把角速率转换成一个特定感测结构的位移，通过位移产生电容变化，感测部分透过测量电容变化来测量科氏力在感测质量上产生的位移。因为位移大小与所施加的角速率大小成正比，以此可以获得角速度和角加速度量。

具体解释：