MEMS陀螺仪传感器的原理

MEMS陀螺仪传感器的原理

首先了解一下MEMS加速度计的原理,简图如下图所示,其中质量块mass被弹簧springs支撑,使得其只能沿着预定方向位移,从而检测特定方向的加速度;绿的部分是固定的电极板Fixed plates。检测原理是当质量块感受到加速度时,会在相应方向产生位移,从而使得固定电极板构成的两个平行板电容器C1,C2的电容大小发生改变,检测其电容值大小即可换算成相应的加速度。
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MEMS陀螺仪
**工作原理简介:**MEMS陀螺仪的检测原理与MEMS加速度计类似,它基于科里奥利效应(Coriolis Effect)所产生的科里奥利力(Coriolis Force)而设计的。
如下图所示,MEMS陀螺仪的核心是一个微加工机械单元,其讯号调节电路可以分为马达驱动和加速度计感测电路两个部分。其中,马达驱动部分是透过静电引动方法,产生一个音叉机制共振运动,为机械元件提供激励;科里奥利力把角速率转换成一个特定感测结构的位移,通过位移产生电容变化,感测部分透过测量电容变化来测量科氏力在感测质量上产生的位移。因为位移大小与所施加的角速率大小成正比,以此可以获得角速度和角加速度量。
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具体解释:
1、在计算科氏力之前,先了解向量的叉乘计算方法。其中需要使用向量叉乘的右手法则,如图,假设a是物体相对于非惯性参考系的速度,b是非惯性参考系转动的角速度,使用右手法则得到向量c,c就为向量a与b叉乘后的结果。
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科氏力的计算公式为:F c = − 2 m ( ω × v ) ,(c,w,v均为矢量)如下图所示:
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绿色箭头表示输入的角速度,由右手法则可知,绿色箭头内的虚线往上为角速度方向;红色箭头表示质量块的驱动速度,由此产生的科里奥利力为蓝色箭头,其方向可以参考上面公式,右手由角速度方向(虚线向上)握向速度(红色箭头)的反向(蓝色箭头)。

2、下图为陀螺仪内部的原理简图。如下图所示,左边是驱动质量块运动的方向(driving direction),右边是输入角速度方向,中间是质量块以及传感器的敏感方向。
由于引入了科氏力(科里奥利力),质量块在传感方向上会产生一定的位移,由此引起平行板电容器电容值的改变,检测电容值即可换算得到输入的角速度。
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