项目进行到ECO阶段,需要一个block添加physical only cell。cell类型是OCOVL。
全称On Chip Overlay Cell,是用于规模较大的芯片设计中,检查工艺PO和OD以及CO和PO的mask之间的重叠关系,可以减少mask对准上的错误,提升良率。
一般是在floorplan阶段进行摆放规划,pitch范围一般大于2mm。
所以在实际操作中需要把OVL添加到距离左右上下2500um的位置,因此需要移动原本放置在该位置的OCCD cell。
实操脚本:
主要的问题要把Endcap cell摆放好,标准就是围成一个完整的core,否则就会出现DRC。
脚本命令中并没有对拜访好的endcapcell进行通电操作,所以需要把对应的M1和M2层线打到endcap cell的VDD和VSS端确保和cell内部的pinshape链接,然后将M1和M2层之间打上通孔。
以上是添加via的命令 其中需要注意的地方是,要选择对应的wire,切记要把加via的wire线切断开确保不会影响到本条线上的其他位置。确定打线层的名字要注意输入当前项目中对应的名字,不然会乱插via,最后一个option是设置平行打孔,默认情况下是1也就是相交的打通孔,所以平行打孔需要设置为0。
打孔之后需要进行检查确保没有露打的孔。