【电子通识】洁净度等级划分及等级标准

        洁净度常用于评估半导体、生物制药、医疗、实验室及科研院所、新能源等领域的洁净室、无尘室或者无菌室等环境。

        一般来说，晶圆光刻、制造、测试等级为100级或1000级的洁净间，百级洁净间要求空气中0.5微米的尘埃粒子数不得超过每立方米3520个；等级为1000级的洁净间要求0.5微米的尘埃粒子数不得超过每立方米35200个。

        晶圆切割或封装工序一般需要等级为万级或十万级的洁净间,万级洁净间要求空气中0.5微米的尘埃粒子数不得超过每立方米352000个。十万级洁净间要求空气中0.5微米的尘埃粒子数不得超过每立方米3520000个。

        那么这些说到的空气洁净度是什么？洁净等级标准是什么？

        空气洁净度是指洁净环境中空气含尘微粒量多少的程度，含尘浓度高则洁净度低，含尘浓度低则洁净度高。洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，洁净度等级代表关注粒径粒子的最大允许浓度（代表为每立方米空气中的粒子个数）。

        ISO 14644-1:2015"洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级"中将空气洁净度划分为以下几个等级：

        这些级别名称的数字越小，表示洁净度越高。其中IS01的洁净度最高，ISO9的洁净度最低。

        ISO 14644是由国际组织标准(ISO)制定的洁净室标准。虽然许多国家都有自己的一套指南、规则、法规和分类，但ISO14644被认为是国际洁净室的黄金标准。

        许多国家/地区的指南以ISO 14644为基础、与之一致或参考。比如中国的洁净室等级标准和国际标准一样，都是根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级。

         洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级参考（国内通用版）

        无尘车间分为几个等级，分别为1级≥百级≥千级≥万级≥十万级≥百万级，越排在前面，级别越高，1级是级别最高的。最常见的是百级到十万级，不同等级还有着不同的等级标准。