声表面波传感技术及应用学习记录 | 绪论

果壳研一，秋季学期选修了声表面波传感技术及应用课程，一起学习~

授课教师：中科院声学所 王文老师

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一、背景

声表面波激发三要素：压电晶体、金属叉指电极、压电效应

声表面波的发现：瑞利于1880年研究地震时发现。

1965年WHITE等利用叉指换能器，在压电晶体上激发出声表面波。

二、压电效应与压电方程

        1. 背景

        1880年由居里兄弟发现，压电效应反映了晶体的弹性性能与介电性能之间的耦合。

        2. 压电效应

        压电体受到外机械力作用而发生电极化，并导致压电体两端表面内出现符号相反的束缚电荷，其电荷密度与外机械力成正比，这种现象称为正压电效应. 压电体受到外电场作用而发生形变，其形变量与外电场强度成正比，这种现象称为逆压电效应. 具有正压电效应的固体，也必定具有逆压电效应，反之亦然. 正压电效应和逆压电效应总称为压电效应.晶体是否具有压电效应，是由晶体结构的对称性所决定的。

        正压电效应：压力产生电荷

        逆压电效应：外加电场使晶体产生形变

        3. 四类压电方程

        物理底子很差，找到了如下资料。
压电效应与压电方程组 - 知乎 (zhihu.com)https://zhuanlan.zhihu.com/p/139431231

三、固体中的弹性波

        1. 各向同性介质中的弹性波

        在各向同性介质中，沿任何方向都可以传播偏振方向互 相垂直的三种类型的平面波，其中2个是横波，且以统一速度传播；另一个则是纵波。

        2. 各向异性介质中的弹性波

四、声表面波

        1. 特点总结

    （1）声表面波县有极低的传播速度和极短的液长，它们各自比相应的电磁波的传播速度的波长小士万倍。在VHF 和UHF 频段内，电磁波器件的尺寸是与波长相比拟的。

    （2）由于声表面波系沿固体表面传播，加上传播速度极慢，这使得时变信号在给定瞬时可以完全呈现在品体基片表面上。于是当信号在器件的输入和输出端之间行进时，就容易对信号进行取样和变换。

    （3）由于声表面波器任是在单最材料上用半导体平面工艺制作的，所以它县有很好的一致性和重复性，易于大量生产，而且当使用某些单晶材料或复合材料时，声表面波器件具有极高的温度稳定性。

    （4）声表面波器任的抗辐射能力强，动态范围很大，可达100dB。这是因为它利用的是晶体表面的弹性波而不涉及电子的迁移过程。

        2. 声波的分类

        3. 体波

        体波是指在无边界各向同性固体中传播的声波。体声波能量在介质中任意方向上以相同的速度传播，根据能量守恒定律，能量密度与传播距离r成反比。又因为能量密度与振幅的二次方成正比，所以体声波能量密度按照r^0.5的形式递减。

        4. SV波和L波的传播

        SV波、L波均不满足表面边界条件，所以其辐射都不严格平行于介质表面。由于表面边界条件，介质表面附近的L波和SV波发生耦合，构成一个简正模，即为瑞利波。

        Φ>φc时，SAW不会透射到介质内部，介质内只存在体声波。想生成瑞利波需要考虑角度。

        5. SH波的激励和传播

        （1）SH波分量能满足表面边界条件，即可在介质表面传播，也可在介质内传播。

        （2）在线性源激励下，体声波以相同的振幅沿各个方向传播，包括预介质表面平行的方向；与SV波和L波一样，SH型体声波的振幅也是以r^0.5的形式递减，所以各个波分量不存在相互楊合的激刷，因此在半无限各向同性质表面不存在SH型简正模。

        （3）在压电介质上，BAN可以与电势中相互耦合，它们组成另一种形式的声表面波，即SH-SAN，同时满足介质表面的机械边界条件和电学边界条件。其波速比SH型体声波的波速慢。此外，金属表面传播的压电SH型声表面波比在自由表面传播的压电SH-SAW更接近于介质表面如果在压电介质上沉积一层慢剪切波速材料，也会澈刷SH-SAW，即所谓的乐甫波。如果介质表面周期性的凹凸不平，即传播介质表西的栅阵，也能澈刷SH-SAW，被称为所谓表面横波 (STW)。

        6. 补充

https://zhuanlan.zhihu.com/p/438675662https://zhuanlan.zhihu.com/p/438675662

五、声表面波类型

        1. 各向同性介质中的SAW传播——瑞利波

        特点：

        2. 各向异性介质中的SAW传播

        （1）漏波

        一边传播，一边向内辐射（泄漏）体波

        （2）SAW特性

        A. SAW的反射及模式转换

        B.波束偏离与衍射效应

        3. 压电介质中的SAW传播

        （1）自由表面。应力为零，电势和电位移连续；

        （2）金属化表面。边界处应力为零，φ=0。

        4. 高对称压电介质中SAW传播——B-G（电声波）

        质点振动方向与传播方向垂直而与表面波平行的纯切变波，与电耦合的表面波。

        （剪切波：质点振动方向与传播方向垂直的波，横波，S波）

        5. LOVE波

        在一均匀各向同性半空间之上覆盖另一种均匀各向同性的薄层，有可能存在SH型声表面波。

必要条件：覆盖层必须是低声速层。

六、叉指换能器

        1. 作用

        （1）传输器：通过逆压电效应-射频电场激发SAW；

        （2）接收器：通过压电效应-SAW激发射频电场；

        2. 基本特性

        （1）工作频率高

        （2）时域脉冲响应与空间几何图形具有对称性

        （3）带宽直接取决于指对数

        （4）具有互易性

        （5）可做内加权设计

        （6）制造简单，重复性、一致性好