命令插dio
create_diodes -options { {I xxx/xxxbuf F_DIODE_63S6T9L_1 12 M9 10}}
在portbuf前面10um范围内插12个天线单元,最高绕线金属层设M9
手动插天线单元dio
实际操作及注意事项
- 版图上注意color对应到相应mask,并注意孔的包边问题,避免drc
- 逻辑上注意connect_net -net GLBClk xxx/dioxxx/A逻辑上连线到天线单元的A端
全局时钟GLBClk需要添加二极管dio,实际上是在时钟port的前一级buffer/I端输入端插入一定数量的dio,给足电荷释放的量
在数字后端(Digital Backend,简称DB)设计中,**插天线单元(Antenna Cell)**的主要作用是防止制造过程中因金属电迁移效应(Antenna Effect)导致的晶体管损伤。具体来说,它的作用包括:
1. 减少电荷累积
• 在芯片制造的光刻和刻蚀过程中,金属互连可能会积累静电,如果这些电荷无法及时泄放,可能会损坏连接的晶体管门极。插入天线单元可以提供额外的泄放路径,使电荷能够安全地释放。
2. 降低天线效应(Antenna Effect)
• 在金属布线过程中,较长的金属走线会像天线一样收集电荷。插入天线单元可以在关键位置有效地减少这种效应,避免对晶体管造成损害。
3. 满足工艺设计规则(DRC)
• 半导体制造工艺有严格的天线规则(Antenna Rules),要求金属走线的面积与连接的栅极面积比值不能超过某个阈值。插入天线单元可以帮助布线满足这些规则,避免制造中的违规。
4. 改善芯片可靠性
• 由于防止了栅极击穿和损伤,插入天线单元可以提高芯片的制造良率和长期工作可靠性。
插天线单元的方式:
• 二极管天线单元(Diode Antenna Cell):通过在走线与衬底之间添加二极管,使电荷能够快速泄放。
• 增加金属连接(Jumping Metal/Bridge):通过引入金属短路连接到其他层,减少单层金属的天线效应。
应用场景:
• 在布线阶段(Routing Stage),ECO(工程更改)阶段可能会手动或自动插入天线单元,以满足设计规则。
• 高金属层长走线时,尤其是全局布线(Global Routing)阶段,插天线单元尤为重要。
插天线单元在数字后端设计中起到保护晶体管、减少电荷累积和确保工艺符合性的作用,是IC制造中不可或缺的一部分。
后续是:
很离谱的一段,global的线延计算了两次
但是他们没求证天线为啥不过就让模块在时钟端猛插dio,插了过多天线又导致后面的slope过不了,最后又写waive申请