全局天线检查-模块修复dio

命令插dio

create_diodes -options { {I xxx/xxxbuf F_DIODE_63S6T9L_1 12 M9 10}}

在portbuf前面10um范围内插12个天线单元,最高绕线金属层设M9

 

手动插天线单元dio

实际操作及注意事项

  1. 版图上注意color对应到相应mask,并注意孔的包边问题,避免drc
  2. 逻辑上注意connect_net -net GLBClk xxx/dioxxx/A逻辑上连线到天线单元的A端

全局时钟GLBClk需要添加二极管dio,实际上是在时钟port的前一级buffer/I端输入端插入一定数量的dio,给足电荷释放的量

 


在数字后端(Digital Backend,简称DB)设计中,**插天线单元(Antenna Cell)**的主要作用是防止制造过程中因金属电迁移效应(Antenna Effect)导致的晶体管损伤。具体来说,它的作用包括:

1. 减少电荷累积

• 在芯片制造的光刻和刻蚀过程中,金属互连可能会积累静电,如果这些电荷无法及时泄放,可能会损坏连接的晶体管门极。插入天线单元可以提供额外的泄放路径,使电荷能够安全地释放。

2. 降低天线效应(Antenna Effect)

• 在金属布线过程中,较长的金属走线会像天线一样收集电荷。插入天线单元可以在关键位置有效地减少这种效应,避免对晶体管造成损害。

3. 满足工艺设计规则(DRC)

• 半导体制造工艺有严格的天线规则(Antenna Rules),要求金属走线的面积与连接的栅极面积比值不能超过某个阈值。插入天线单元可以帮助布线满足这些规则,避免制造中的违规。

4. 改善芯片可靠性

• 由于防止了栅极击穿和损伤,插入天线单元可以提高芯片的制造良率和长期工作可靠性。


 

插天线单元的方式:

• 二极管天线单元(Diode Antenna Cell):通过在走线与衬底之间添加二极管,使电荷能够快速泄放。

• 增加金属连接(Jumping Metal/Bridge):通过引入金属短路连接到其他层,减少单层金属的天线效应。

 

应用场景:

• 在布线阶段(Routing Stage),ECO(工程更改)阶段可能会手动或自动插入天线单元,以满足设计规则。

• 高金属层长走线时,尤其是全局布线(Global Routing)阶段,插天线单元尤为重要。

 

插天线单元在数字后端设计中起到保护晶体管、减少电荷累积和确保工艺符合性的作用,是IC制造中不可或缺的一部分。

 


后续是:

很离谱的一段,global的线延计算了两次

但是他们没求证天线为啥不过就让模块在时钟端猛插dio,插了过多天线又导致后面的slope过不了,最后又写waive申请

  

 

 

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