SEM测试功能

在做扫描电子显微镜（SEM）测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对sem测试不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

扫描电镜

1、扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像（二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸）

2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析

1)用x射线能谱仪或波谱（EDS or WDS）采集特征X射线信号，生成与样品形貌相对应的，元素面分布图或者进行定点化学成分定性定量分析，相鉴定。

2)利用背散射电子(BSE）基于平均原子序数(一般和相对密度相关）反差，生成化学成分相的分布图像；

3)利用阴极荧光，基于某些痕量元素（如过渡金属元素，稀土元素等）受电子束激发的光强反差，生成的痕量元素分布图像。

4)利用样品电流，基于平均原子序数反差，生成的化学成分相的分布图像，该图像与背散射电子图像亮暗相反。

5)利用俄歇电子，对样品物质表面1nm表层进行化学元素分布的定性定理分析。

3、在半导体器件（IC)研究中的特殊应用：

1）利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究

2）利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

3）利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构（原子在晶体中的排列方式），晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。

以上仅为科学指南针检测平台对网上资料的收集整合，故此分享给大家，希望可以帮助大家对测试更了解，如有测试需求，可以和科学指南针联系，我们会给与您最准确的数据和最好的服务体验，惟祝科研工作者可以更轻松的工作。

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