SEM测试主要测什么元素

SEM测试主要测什么元素？想了解这个问题，那我们要了解一下SEM搭配能谱仪EDS的作用，

扫描电子显微镜（Scanning ElectronMicroscope，简称SEM)是继透射电镜（TEM之后发展起来的一种电子显微镜）。扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或透射电子显微镜不同，它是以电子束作为照明源，把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上，产生各种与试样性质有关的信息,然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。

SEM特点：

• 仪器分辨本领较高。二次电子像分辨本领可达1.0nm(场发射),3.0nm(钨灯丝);
• 仪器放大倍数变化范围大（从几倍到几十万倍）,且连续可调;
• 图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等);
• 试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的试样不加处理或稍加处理，就可直接放到SEM中进行观察。一般来说，比透射电子显微镜(TEM)的制样简单，且可使图像更近于试样的真实状态;
• 可做综合分析。
• SEM装上波长色散X射线谱仪（WDX）(简称波谱似或能量色散X射线谱仪（EDX)(简称能谱仪）后在观察扫描形貌图像的同时，可对试样微区进行元素分析。
• 装上半导体样品座附件，可以直接观察晶体管或集成电路的p-n结及器件失效部位的情况。
• 装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于不同环境（加热、冷却、拉伸等)中的试