SEM和TEM的相同点和不同点

1.扫描电镜和透射电镜的工作原理

扫描电镜(SEM)

扫描电镜(SEM)使用一组特定的线圈以光栅样式扫描样品，并收集散射的电子，放大再成像对样品表面或者断口形貌进行观察和分析。

透射电镜(TEM)

而透射电镜(TEM)是以电子束透过样品经过聚焦与放大后所成的物像，因此，透射电镜(TEM)观察的是样品的内部精细结构，如晶体结构，形态等，而扫描电镜(SEM)则提供了样品表面及其组成的信息。TEM的分辨率比SEM要高一些。

TEM可以标定晶格常数，从而确定物相结构；SEM主要可以标定某一处的元素含量，但无法准确测定结构。

2.TEM和SEM的样品制备

TEM:电子的穿透能力很弱，透射电镜往往使用几百千伏的高能量电子束，但依然需要把样品磨制或者离子减薄或者超薄切片到微纳米量级厚度，放在直径3mm的铜网上观察。要不电子束也打不透，这是基本要求。

SEM:几乎不用制样，直接观察。大多数非导体需要制作导电膜，绝大多数几分钟的搞定，含水的生物样品需要固定脱水干燥。二者对样品共同要求:固体，尽量干燥，尽量没有油污染，外形尺寸符合样品室大小要求。

3、SEM和TEM操作上的差异:

这两种电子显微镜系统在操作方式上也有所不同。扫描电镜（SEM)通常使用15KV以上的加速电压，而透射电镜（TEM)可以将其设置在60-30OkV的范围内。与扫描电镜（SEM)相比，透射电镜（TEM)提供的放大倍数也相当高:透射电镜(TEM)可以将样品放大5000万倍以上，而对于扫描电镜(SEM)来说ÿ