Silvaco仿真入门

第一章  半导体器件设计

1.1  TCAD与仿真实验

TCAD是计算机辅助设计技术Technology Computer Aided Design的简称，是一种用于开发和优化半导体器件及其加工技术的半导体模拟工具。

仿真实验大家都很熟悉了，那么什么是仿真实验呢？下面就让小编带领大家看一下什么才是仿真实验。

呃(⊙﹏⊙) 我们言归正传。

仿真实验是通过计算机软件模拟实际的实验过程的一种实验。几乎不需要搭建任何实验设备，最低配置，一台计算机即可。电路仿真使用Multisim、AD；射频使用ADS、HFSS；集成电路设计使用Cadence、Hspice等等。

仿真实验极大地减少了投入成本，加快验证速度，但同时受到理论模型的制约，准确性仍然无法和实际的实验相媲美。

个人经验，学习仿真软件如果有人带当然最好了，如果没人带的话，建议先找网上的各种教程，最好带图的那种，掌握基本的操作之后，一定要回来看软件的自带的说明，软件的help里肯定有。新手直接看软件说明，太多太复杂，直接消磨意志力；如果不看说明，好多细节部分网上的教程是不会涉及到的。

1.2  半导体器件仿真常用软件

目前半导体器件设计常用的软件有Silvaco、Synopsys公司的Sentaurus、Comsol、Crosslight公司的APSYS

 

 

 

 

第二章  Silvaco TCAD半导体仿真平台简介

Silvaco TCAD的大部分操作都在一个叫做Deckbuild的程序中进行。DeckBuild是Silvaco交互图形化的运行环境，仿真参数的代码输入、输出文件的查看等都可以在该程序中找到。

2.1  Atlas器件仿真

在Deckbuild中输入go atlas即表示以下内容在atlas仿真器中运行。输入之后go atlas几个字符会变成紫色。

Altas模块根据输入的网格、掺杂和电极等等设置，生成对应的器件模型，对器件进行仿真，不涉及制造的部分。我的理解这个模块是器件的理想化仿真。Silvaco给出了许多器件的例子。通过file—examples可以打开例子的目录，打开后可以在小房子的右侧输入关键词进行搜索，方便快捷。

 

例子里有些程序会先走athena，然后再走atlas，但是没什么关系，入门的话，照着改改就行了，athena的工艺部分跨过去，或者找不带athena的程序看看，再对应网上的其他资料。duang！Atlas部分就学会了。

一个简单的二极管程序：

go atlas

mesh space.mult=1.0#定义网格缩放倍率，默认为1，网格设置多少就是多少

x.mesh loc=0.00 spac=0.10#网格定义，仿真的关键，同一个器件不同的网格，结果千差万别

x.mesh loc=2 spac=0.10

x.mesh loc=4 spac=0.10

y.mesh loc=0.00 spac=0.10

y.mesh loc=2 spac=0.10

#

region number=1 x.min=0 x.max=2 y.min=0 y.max=2 material=Silicon

region number=2 x.min=2 x.max=4 y.min=0 y.max=2 material=Silicon

#

electrode name=anode number=1 x.min=0 x.max=0

electrode name=cathode number=2 x.min=4 x.max=4

#

doping uniform conc=1e+15 n.type x.left=0 x.right=2 direction=x

doping uniform conc=1e+15 p.type x.left=2 x.right=4 direction=x

#

model conmob fldmob #模型定义，这部分会影响结果的准确程度

solve init #电极初始化，全加0V偏置

log outfile=diode.log

solve vanode=0 vstep=0.05 vfinal=1.5 name=anode

#extract name="cv" curve(c."anode", v."cathode")

extract name="iv" curve(v."anode", i."anode") outfile="diode1.dat"

 

 

tonyplot diode1.str diode1.dat

quit

2.2  Athena工艺仿真

工艺仿真就是对器件制造过程中的扩散、离子注入、刻蚀、退火等等过程进行模拟。仿真某个器件时可以先通过athena模块对制造过程的工艺步骤进行仿真，得到想要的器件结构，再进入atlas进行器件仿真，这样得到的结果更加接近真实实验数值。

这部分接触不多，暂时先写到这里。

第三章  总结

Silvaco的功能还是比较强大的，从二极管、三极管到激光器、高速电子器件都可以仿真。本人对这个软件的了解还是不够深入，第一次写博客，希望各位朋友海涵。

同名微信公众号，初次运营公众号，暂时只有这一篇内容，没有其他功能。诚恳希望大家提出宝贵意见，我将在科研之余分享出个人的科研经历、心得体会等等。谢谢。