20190214
Atlas仿真介绍,工艺流程,还有结构定义 都在书上,以后遇到了可以直接查。
主要补充一个纵向结构图的看法,加一个切线即可。这个故事告诉我们tonyplot用好的重要性,Deckbuild主要就是把结构写出来,更重要的还是要仿真他的特性,这就全靠tonyplot了目前。
积累一些常用的语句吧:
定义语句:electrode name= cathode bottom
solve vbase=0.5
定义语句非常简单,只要把定义的东西写上,等号后面写定义的数值或者名称即可。
3.3 结构
首先初始化网格,然后定义区域和材料,然后定义电极,然后描述掺杂。
初始化网格: line location spacing 和之前学的Athena是一样的
区域和材料:region num=1 y.min=0.1 y.max=0.5 silicon
就是把区域编号写上,然后写上区域范围,最后写上区域材料
材料这里组分渐变有两种表示方法:
compx.top(bottom) 用来定义两端,中间区域是线性变化。
grad.<n>定义是定义组分从一个数值减小到0.
电极:有可能仿真结果