本文详细介绍了XPS高分辨率谱的分析过程，包括荷电校正方法、数据处理步骤（如C1s校准、XPSpeak软件使用）、分峰拟合规则以及导出数据至其他软件的流程，帮助读者理解和操作XPS技术获取样品表面电子结构信息。
1.XPS高分辨谱可以拿到什么数据?
一般来说，在进行高分辨率光谱分析时，我们希望看到表面某些元素的电子结构信息，判断元素的化学状态和化学环境，然后解释样品的表面结构或其变化。因此，XPS的高分辨率必须是有针对性的，并且每个人都非常清楚要测量的元素。
一般除了大家想要测的元素之外，一般测试的时候还需要测一个C的高分辨谱，用于荷电校正。
国内像XPS这样的大型仪器一般都有专人进行测试，因此我们所得到的原始数据一般为xls文件。下图所示为Pb3O4的XPS测试原始数据，除了Pb, O之外，还有C的高分辨谱以及各元素的半定量分析结果。
2.荷电校正
拿到XPS高分辨谱，第一步是要进行荷电校正，得到准确的结合能数据。那么如何进行校正呢?上一期分享中我们已经说过，荷电校正一般将外来污染碳(284.8 eV)作为基准。具体如何操作呢?
A.计算荷电校正值。
具体操作：将C1s的数据复制到origin中，做成曲线图，并通过数据读取工具来识别C1s谱中的峰值坐标(主要是结合能)。
以下图为例，C1s的结合能为284.5 eV&#
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