XPS原始数据分峰拟合教程-科学指南针

作为一名全能的科研人

拿到需要进一步处理的原始数据

比如，XPS、XRD或IR的实验结果

曾今的你可能有点茫然

但是，看完这篇教程，再也没有你分不了的峰了

我们的学习从XPS的分峰拟合开始：

1.首先看XPS高分辨谱原始数据

XPS高分辨谱的原始数据一般为“.xls”文件，打开该文件，我们可以看到各种特定元素的高分辨谱及对它们进行半定量分析的原始数据。如图1所示：

图 1

2.在进行分峰拟合前，我们需先对原始数据进行荷电校准
校准时一般用外来污染碳（284.8 eV）作为基准，所用工具有“Origin/Excel/Avantage”等软件。

选中C1s（碳的高分辨谱数据）的“关键数据”，读出C1s谱峰的横坐标,即C1s的结合能。若为284.7 eV，由于外来污染碳的标准值为284.8 eV, 故荷电校正值为284.8 eV - 284.7 eV = 0.1 eV。也就是说，此次测试的这个样品，所有元素的结合能均需要+0.1 eV作为荷电校正，从而得到准确的结合能值。

3.接下来进入数据处理重要环节——分峰拟合
现在，我们用PeakFit进行分峰拟合。

第一步 将经过荷电校正的数据转换为“.txt/.xls”等格式文件;(文本文档/Excel)

第二步 在PeakFit软件中