微电子领域常用材料简介（二）蓝宝石衬底

微电子领域常用材料简介（二）蓝宝石衬底

蓝宝石衬底是一种以氧化铝（Al2O3）单晶为主要成分的材料，因其优异的光学性能、机械性能和化学稳定性而在多个领域得到广泛应用。
特点
蓝宝石衬底具有以下特点：

1. 光学性能：蓝宝石具有很高的光学透过率，能够透过可见光和部分红外光，这使得它成为微电子管介质材料、超声传导元件、波导激光腔等光学元件的理想选择。同时，它也被用作红外军事器件、航天飞行器、高强度激光器和光通信的窗口材料。
2. 机械性能：蓝宝石的硬度非常高，仅次于钻石，因此具有很高的耐磨性和强度，适用于恶劣环境中的使用，如锅炉水表、商品条码扫描器、轴承等精密制造领域。
3. 化学稳定性：蓝宝石耐腐蚀性强，能够抵抗多种化学物质的侵蚀，适用于化工、石油勘探等领域。
4. 电绝缘性和导热性：蓝宝石具有良好的电绝缘性能，同时导热性能也不错，这使得它可以作为LED、微电子电路、超高速集成电路等电子器件的衬底材料。
5. 应用领域：蓝宝石衬底在半导体LED工业中尤为重要，特别是用于MOCVD外延GaN衬底。它还用于Ⅲ-Ⅴ族或Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体的生长，如氮化镓（GaN）、氮化铝（AlN）、氮化铟（InN）等。此外，它也在微电子IC应用中发挥作用，尤其是在超高速集成电路（SOS）中。
6. 市场情况：全球蓝宝石衬底材料行业的需求量近年来呈现出稳步增长的趋势，主要得益于LED产业的快速发展以及消费电子市场的持续扩大。市场集中度较高，主要市场份额集中在几家大型企业手中。
7. 制造工艺：蓝宝石衬底的制造工艺包括晶体生长、切割、研磨、抛光等步骤。其中，CMP（化学机械抛光）技术被用于确保晶片的低成本和优良的表面质量。晶片在100级净化间用超纯水清洗，以保证洁净度。
8. 规格与包装：标准规格的晶片一般有现货，以确保能快速交付。晶片通常采用5片/盒或单片盒包装，以提高研究灵活性并安全运输。

应用
蓝宝石衬底在多个领域有着广泛的应用，如下：

1. 半导体LED工业：蓝宝石衬底是LED（发光二极管）制造中的关键材料，主要用于生长氮化镓（GaN）基的外延片。由于蓝宝石的高热导性和电绝缘性，它能够承受LED生产过程中的高温和电流，同时提供良好的光学透明性。蓝宝石衬底在LED芯片用衬底市场中占据了绝大多数份额。
2. 消费电子：蓝宝石衬底因其硬度高和耐磨损特性，被广泛应用于智能手机、智能手表和其他便携式设备的摄像头保护玻璃和显示屏盖板。例如，Apple Watch的屏幕就使用了蓝宝石晶体作为保护层。
3. 航空航天和军事领域：蓝宝石衬底的高硬度、强度和耐高温特性使其适用于红外军事装置、航天飞行器的窗口材料以及高强度激光的窗口材料。
4. 光学元件：蓝宝石衬底的高光学透过率使其成为微电子管介质材料、超声传导元件、波导激光腔等光学元件的理想选择。
5. 集成电路：蓝宝石衬底也用作集成电路的衬底材料，特别是在超高速集成电路（SOS）和混合微电子（HIC和MCM）领域。它的介电常数稳定、介电损耗低，为集成电路提供了良好的性能。
6. 其他工业应用：蓝宝石衬底还用于制造耐高温的锅炉水表、商品条码扫描器、轴承等精密制造领域，以及油井探测传感器和探测器窗口等防腐场合。

综上所述，蓝宝石衬底因其独特的物理和化学特性，在高科技行业中扮演着重要角色，随着技术的进步和市场需求的增长，蓝宝石衬底的应用范围预计将进一步扩大。