电子束光刻胶(SU-8 GM1010,HSQ,XR-1541-002/004/006,HSQ Fox-15/16,PMMA)
光刻胶又称光致抗蚀剂,是一种对光敏感的混合液体。其组成部分包括:光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。光刻胶可以通过光化学反应,经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加工基片上。依据使用场景,这里的待加工基片可以是集成电路材料,显示面板材料或者印刷电路板。
光刻胶按应用领域分类,可分为 PCB 光刻胶、显示面板光刻胶、半导体光刻胶及其他光刻胶。
全球市场上不同种类光刻胶的市场结构较为均衡,具体占比可以如下图所示。
电子束光刻胶-SU-8 GM1010
光源 | 类型 | 分辨率 | 厚度(um) | 适用范围 |
电子束 | 负性 | 100nm | 0.1-0.2 | 可用于做高宽比较大的纳米结构。 |