电子束光刻胶（SU-8 GM1010，HSQ，XR-1541-002/004/006，HSQ Fox-15/16，PMMA）

电子束光刻胶（SU-8 GM1010，HSQ，XR-1541-002/004/006，HSQ Fox-15/16，PMMA）

光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种对光敏感的混合液体。其组成部分包括：光引发剂（包括光增感剂、光致产酸剂）、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。光刻胶可以通过光化学反应，经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩（掩模版）转移到待加工基片上。依据使用场景，这里的待加工基片可以是集成电路材料，显示面板材料或者印刷电路板。

光刻胶按应用领域分类，可分为 PCB 光刻胶、显示面板光刻胶、半导体光刻胶及其他光刻胶。

全球市场上不同种类光刻胶的市场结构较为均衡，具体占比可以如下图所示。

电子束光刻胶-SU-8 GM1010

光源	类型	分辨率	厚度（um)	适用范围
电子束	负性	100nm	0.1-0.2	可用于做高宽比较大的纳米结构。