薄胶(S18xx,SPR955,BCI-3511,NRD6015)光刻胶
薄胶 | 型号 | 光源 | 类型 | 分辨率 | 厚度(um) | 适用范围 |
S18xx系列 | g-Line | 正性 | 0.5um | 0.4-3.5 | 较常用的薄光刻胶,分辨率高,稳定可靠。 | |
SPR955系列 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.7-1.6 | 进口高分辨率(0.35um)光刻胶,稳定可靠。 | |
BCI-3511 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.5-2 | 国产0.35um光刻胶,已经在量产单位规模使用。 | |
NRD6015 | 248nm | 负性 | 0.2um | 0.7-1.3 | 国产深紫外光刻胶,已经在量产单位规模使用。 |
光刻胶分类
在平板显示行业;主要使用的光刻胶有彩色及黑色光刻胶、LCD触摸屏用光刻胶、TFT-LCD正性光刻胶等。在光刻和蚀刻生产环节中,光刻胶涂覆于晶体薄膜表面,经曝光、显影和蚀刻等工序将光罩(掩膜版)上的图形转移到薄膜上,形成与掩膜版对应的几何图形。
光刻胶胶涂工艺
在PCB行业