Double Pattern Technology & RC Corner
Double pattern technology什么是double pattern technology?首先要了解一下mask的概念,什么是mask?Maskmask就是掩模,掩模上承载了wire的设计图形,光线透过它,把设计图形投射在metal上的光刻胶上,这样metal上就形成了wire;通常情况下,一层metal只需要一张mask;但是在20nm以下的工艺中,如果只使用一张mask,并且mask上相邻的metal wire之间的间距过小,使得相邻的光线间距过小****(最小间距),光线
原创
2022-04-29 13:03:46 ·
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