【芯片制造】【问题整理】明场检测和暗场检测

背景：

什么是明场检测和暗场检测

主要功能：

1、在明场检测中，光源直接照射到样品表面，透射光或反射光被收集并成像。样品上的颗粒、划痕、凹坑会改变光的反射和透射，形成对比，能够快速扫描大面积样品。

2、在暗场检测中，光源以倾斜角度照射到样品表面，只有被样品表面缺陷散射或反射的光会被收集并成像，样品表面平坦部分不会将光散射入检测器，因而在暗场检测中，背景是黑暗的，缺陷则是一个个亮点。非常适合检测微小的颗粒，凹坑和划痕。