声表面波(SAW)滤波器和体声波(BAW)滤波器详细介绍

     滤波器根据实现方式的不同可以分为LC滤波器、腔体滤波器、声学滤波器、介质滤波器等。不同滤波器适用于不同的应用场景,在手机无线通信应用中,由于设备尺寸较小、功率较低,因此目前智能手机使用小体积高性能的声学滤波器,根据结构不同可以分为声表面波(SAW)滤波器和体声波(BAW)滤波器。SAW滤波器的基本原理为在输入端由压电效应把无线信号转换为声信号在介质表面传播,在输出端由逆压电效应将声信号转换为无线信号。一个基本的SAW滤波器由压电材料和两个叉指式换能器(IDT,Interdigital Transducer)组成,输入端的IDT将电信号转换成声波,且该声波在SAW滤波器基板表面以驻波形式横向传播,输出端的IDT接收到的声波转换成电信号输出,从而实现滤波。SAW类产品包括普通的SAW滤波器以及具有温度补偿特性的TC-SAW滤波器,产品形式包括双工器以及单独的滤波器。制作的原材料主要为钽酸锂或铌酸锂的单晶晶圆(4寸晶圆为主),在晶圆上方应用光刻,镀膜等半导体工艺进行图形化处理,然后划切成为芯片,芯片表面结构和制作工艺较为简单,成本较低。

常见的声波滤波器包括SAW, BAW, FBAR和XBAR

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