光栅与光栅尺简介

光栅（有周期结构的衍射屏）

1.定义：光栅是由大量平行且间距相等的透明或者不透明条纹组成的光学元件，为分光元件

2.原理：利用光的衍射原理工作的原件，它通过大量平行等间距的狭缝或障碍物，使光在传播过程中发生衍射和干涉现象，从而将光按照不同的波长或方向进行分离或调制，主要将复色光分解为单色光，形成光谱

3.光栅的种类

3.1透射光栅

3.1.1定义：是一种在透明光学材料上制作出大量等间距，平行排列的透光狭缝或刻痕的光学元件

3.1.2原理：根据光的衍射和干涉理论，当一束平行光垂直照射到透明光栅上时，光会在每个狭缝处发生衍射，衍射的光又会相互干涉。不同波长的光由于满足干涉加强的条件不同，所以会以不同角度射出，将复色光分解为单色光

3.1.3结构

3.1.3.1狭缝结构：由大量等间距等宽度的狭缝组成，在微米量级，宽度决定了光栅的分辨率和透光率，间距决定了分光能力

3.1.3.2基底材料：选用光学性能优良，均匀性好，热稳定性高的透明材料，如光学玻璃，石英

3.1.4加工工艺

3.1.4.1机械刻划法：使用精密的刻划机通过金刚石刀具划出一系列平行的狭缝精确度高

3.1.4.2全息光刻法：让两束相干光在光刻胶等光感材料上产生干涉条纹，经显影定影等处理将干涉条纹固定下来形成光栅结构

3.1.4.3电子束光刻法：利用电子束在电子光敏材料上进行扫描曝光，通过控制电子束的路径和计量，精确的的定义出光栅的图案

3.1.5应用：光谱分析，光学测量，激光技术，光通信

3.2反射光栅

3.2.1定义：在光学反射镜表面制作出有周期性结构的光学元件，利用反射光的衍射和干涉，对入射光进行调制和分光

3.2.2原理：当一束平行光以一定角度入射到反射光栅上时，光栅表面的周期性结构会使反射光发生衍射再相互干涉，不同波长的光会在不同衍射角方向上出现干涉加强的现象，实现分光

3.2.3结构

3.2.3.1反射基底：分为金属基底和介质基底。金属基底反射率高，介质基底可结合镀膜功能实现特定的光学性能

3.2.3.2光栅结构：在反射基底表面制作出有周期性的刻槽或条纹结构，这些结构的形状深度和间距影响着光学性能，常见矩形槽，三角形槽，正弦槽

3.2.4加工方法

3.2.4.1机械刻划法3.2.4.2全息光刻法

3.2.4.3离子束蚀刻法：通过离子束的溅射作用刻蚀反射基底表面，需控制离子束的能量，束流密度，刻蚀时间等

3.2.5应用：光谱仪器，激光技术，光通信，航空航天

3.3光纤光栅

3.3.1定义：在光纤内部的纤体上形成折射率沿轴向周期性变化的结构

3.3.2.原理：基于光纤的光弹效应和光敏效应，紫外光会永久改变纤芯的折射率，则可以通过控制紫外光的干涉图样来实现纤芯中的折射率周期分布

3.3.3主要类型

3.3.3.1光纤布拉格光栅：反射特定波长的光，形成窄带反射谱

3.3.3.2长周期光纤光栅：将纤芯中的光耦合到包层中，形成损耗谱

3.3.4加工工艺

3.3.4.1全息干涉法

3.3.4.2逐点写入法：通过聚焦的紫外光束或飞秒激光逐点对光纤进行照射，逐点改变光纤的折射率

3.3.4.3相位掩模板法：利用相位掩模板对紫外光进行调制，产生周期性的干涉条纹，照射到光纤上

3.3.5应用：光纤的通信传感

3.4全息光栅

3.4.1定义：利用全息照相技术，通过干涉在记录介质上形成具有周期性光学结构的衍射光栅

3.4.2原理：干涉，衍射。两束相干光以特定角度照射到记录介质上，产生干涉条纹，经处理后形成透光率和折射率呈现周期性变化的光栅结构

3.4.3按工作方式分为透射型全息和反射式全息，前者利于衍射，后者结构紧凑且反射率高

3.4.4加工工艺

3.4.4.1全息记录：搭建全息光路，使两束相干光在记录介质上形成稳定的干涉条纹，对记录介质进行曝光，将干涉条纹信息记录下来

3.4.4.2显影定影：曝光后的介质经过显影处理，使曝光区域的材料发生溶解或其他化学变化，形成与干涉条纹相对应的浮雕结构或折射率变化，再显影定形

3.4.4.3后处理：镀膜固化等

3.4.5应用：光谱分析，光通信，激光技术，天文观测，全息成像

3.5闪耀光栅

3.5.1定义：又称定向光栅，通过特殊设计时衍射光能量集中在特定方向的光谱，能有效提高特定波长波段光的衍射效率

3.5.2原理：在光栅表面制作出特定的槽面结构（如锯齿），改变光的反射和衍射路径。然后再让相邻槽面的光满足波长差，实现干涉

3.5.3结构：常见槽型为锯齿形，槽面与光栅平面呈一定角度，这个角度成为闪耀角。槽密度越高色散能力越强

3.5.4加工工艺：机械划刻法，全息干涉法

3.5.6应用：光谱仪器，激光技术，天文观测，光通信

3.6二维光栅

3.6.1定义：二维光栅是衍射单元在二维方向上周期排列的光栅

3.6.2原理：当一束光入射到二维光栅上时，光栅的周期性结构会使光发生衍射，将入射光分解为多个不同方向的衍射级次。通过调节光栅的周期、占空比、深度等参数，可以优化衍射效率，使得某个方向的衍射光束具有最高衍射效率，从而实现光束的定向传输、分束、调制等功能

3.6.3结构：在基底上形成的周期性结构组成，如通过圆形或矩形孔、柱、锥等的阵列形成

3.6.4加工工艺：光刻技术，刻蚀技术，复制技术

3.6.5二位光栅的一些特性

①双方向周期性：在两个相互独立的方向上具有周期性结构，这两个方向可以是正交的，也可以成一定角度

②衍射角度多样性：由于二维的周期性，光入射时会在多个方向上产生衍射，形成复杂的衍射图样

③偏振相关性：对不同偏振态的光可能有不同的衍射效果

4.作用：

4.1分光作用

4.1.1光谱分析：此作用多应用于光谱仪中。在光谱仪中，光栅是关键的分光元件，能将入射的复合光按照不同波长分解成一系列分立的谱线形成光谱，从而通过对光谱的分析确定物质的化学成分，含量以及物理结构等信息

应用：天文学，化学，材料科学，研究天体的元素组成，化学反应的产物分析，材料的光学特性

4.1.2波长选择：在光通信的波分复用技术中，光栅可用于选择特定波长的光信号。通过设计合适的光栅参数，使不同波长的光在光栅作用下以不同角度衍射，从而实现对特定波长光信号的分离和复用，大大提高了光纤通信系统的传输和效率

4.2调制作用

4.2.1振幅调制：光栅可以对光的振幅进行调制

例如：在振幅型光栅中，通过改变光栅的透光或反射特性，使透过或反射的光在不同位置有不同的振幅，从而实现对光信号的编码和处理

应用：光学信息处理，光存储等

4.2.2相位调制：相位型光栅能够对光的相位进行调制。当光通过光栅时，由于光栅不同位置的厚度不同，会使光的相位发生变化，从而实现对光的相位调制

应用：全息术（制作全息图），光学干涉测量，实现光学相位共轭等

4.3传感与测量作用

4.3.1位移测量：测量物体的位移，常用的是计量光栅。当光栅与物体的运动部件相连时，物体的位移会导致光栅条纹的移动，通过检测光栅条纹的移动数量和方向，就可以精确地测量出物体的位移量

应用：机床加工，自动化生产线，精密仪器制造，对工件位置的精准控制和测量

4.3.2角度测量：利用光栅的衍射原理，可制作角度传感器来测量物体的旋转角度，当光栅绕某一轴旋转时，衍射光的角度会发生相应变化，通过检测这种变化，就可以计算出物体的旋转角度

应用：航空航天，机器人技术，光学仪器=>角度定位和测量

4.3.3其他物理量的测量：与其他物理效应结合，测量温度，压力，应变等

4.4成像与显示作用

4.4.1光栅投影成像：在3D显示，投影仪等设备中光栅可用于实现投影成像

4.4.2全息显示：利用全息光栅，记录和再现物体的三维信息，通过将物体的光场与参考光场干涉所形成的全息光栅，在适当的光照下再现出物体的三维图像

5.光栅的实验理论

5.1基本公式dsinφ​=mλ，dsinφ​为两束光的相位差，d是光栅的单位间距（光栅常数），若d/透光部分为一个常数，则出现能级缺失

5.2光栅作用

5.2.1分光

λ不同->sinφ不同->分布图样不同

• 色散能力：设衍射后的光衍射角相差a，分光能力D=m/d cosa；同理，线色散能力为焦距/入射光与地面夹角余弦值，即D=fm/ cosb

色分辨能力：主极大的分离程度，不同的λ能分辨出两条不同的谱线，其能分辨出的λ差值越小，色分辨能力越强；在图像上，我们可以使用瑞利判据来判断，即偏移角差值（偏移程度）>=半角宽（主极大峰间距），公式化为R=λ/λ差=mN

• 光栅量程：d sina=mλ,因为sina<1，则mλ<d，m<d/λ+缺级
• 自由光谱范围：d sina=mλ，λ在次为一串波长，决定着d的偏移量

光栅尺（光栅尺位移传感器）

1. 定义：利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置，主要用于高精度的直线位移测量，由标尺光栅和光栅读数头两部分组成，标尺光栅固定在静止部件上，而读数头安装在移动部件上

2.工作原理

2.1莫尔条纹效应：当两个周期性结构的物体相互叠加或相对运动时，会产生一种新的，低频的干涉条纹图案

2.1.1莫尔条纹的形成原理

2.1.1.1两个平行光栅的叠加

设两个光栅的周期分别为P1，P2，当他们平行叠加时，如果两个值非常接近但不完全相等，就会形成莫尔条纹，条纹间距Pm可通过以下公式近似计算

1/Pm=|1/P1-1/P2|

当P1P2越接近，条纹间距Pm越大，条纹越稀疏

2.1.1.2两个光栅的相对角度

如果两个光栅的周期相同，但是之间存在角度θ，也会产生莫尔条纹

Pm=P/sinθ，P为周期

2.1.2莫尔条纹的特性

2.1.2.1放大效应：莫尔条纹的间距通常比单个光栅的周期大得多，因此可以通过观察Pm来看微小位移或者角度变化

2.1.2.2低频特性：莫尔条纹频率低，适合用于低分频率的检测系统

2.1.2.3稳定性：莫尔条纹的形成对光栅的相对运动敏感，因此可用于高精度的位移测量

2.2标尺光栅与指示光栅相对移动时，会产生明暗相间的莫尔条纹，这些条纹的移动与光栅的位移成正比，通过光电传感器将条纹的变化转化成电信号，在经过信号处理得到偏移量

3.光栅尺的分类

3.1按结构分类：①敞开式光栅尺：适用于高精度测量，输出正弦波②封闭式光栅尺：适用于普通机床和机器，输出信号为方波

3.2按信号类型分类：①增量式光栅尺：输出相对位置的脉冲信号②绝对值光栅尺：直接输出绝对位置信息，适用于高精度和复杂应用

3.3按材料分类：①玻璃光栅尺：适用于短行程和高精度测量②钢带光栅尺：适用于长行程测量

4.光栅尺的制作工艺

4.1基板准备：选用玻璃，金属陶瓷等材料作为基板。对选定的基板进行清洗，抛光等处理，以获得平整光滑的表面

4.2光栅图案制作：光刻法，电子束刻蚀法，全息干涉法

4.3镀膜与封装：提高光栅尺的反射率，耐磨性，抗腐蚀性等性能

5.光栅尺的使用

5.1安装光栅尺：①选择合适位置：根据测量对象和设备的结构，选择一个合适的位置安装光栅尺②固定光栅尺：使用合适的安装夹具或螺丝将光栅尺牢固地固定在选定的位置上③安装读数头：将读数头安装在与光栅尺相对应的位置上，使读数头能够准确读取光栅尺上的光栅信号

5.2连接与设置：①电气连接：将光栅尺的信号输出线与测量系统或控制器的相应接口进行连接②参数设置：根据光栅尺的规格和测量要求，在测量系统或控制器中进行相关参数的设置

5.3测量与应用

5.3.1初始化：在开始测量之前，通常需要对光栅尺进行初始化操作，使读数头能够正确识别光栅尺的起始位置，并将测量值归零。通过按下测量系统或控制器上的归零按钮，或者在软件中进行相应的操作，将光栅尺的当前位置设置为零点，以便后续进行准确的位移测量

5.3.2实时测量：当被测物体发生位移时，光栅尺的读数头会实时读取光栅尺上的光栅信号，并将其转换为数字信号传输给测量系统或控制器。测量系统根据接收到的信号计算出被测物体的位移量，并在显示屏上实时显示出来

5.3.3数据记录与处理：根据实际需求，可以将测量得到的数据进行记录和处理。可以使用测量系统自带的数据记录功能，将位移数据存储在计算机或其他存储设备中，以便后续进行分析和统计