扫描电镜的应用

扫描电镜的都有哪些应用

扫描电镜SEM是一种具有优越性能的多功能仪器，用途范围非常广泛，它可以进行如下的基本分析：

(1)观察纳米材料：所谓纳米材料指组成材料的颗粒的尺寸在0.1~100nm以内，在保持没有污染的条件下得到的固体材料。纳米具有与许多其他材料不同的物理化学性质。由于扫描电镜具有很高的分辨率，现在已广泛用于观察纳米材料。

(2)材料的断面分析：扫描电镜由于景深比较大，所以扫描电子成像富有立体感，具有三维形态，这个特点很有使用价值。扫描电镜所显示的形貌可以从深层次高景深的角度呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因分析。断面分析已经是工艺合理性的判定等方面一个强力的手段。

(3)可直接观察样品的原始表面：扫描电镜可以直接对样品进行观察，粗糙表面也能观察，这就免除了制备样品的麻烦，而且可以更真实的观察到样品本身。

(4)可以观察较大样品：扫描电子显微镜能够得到较高的分辨率和最真实的形貌，因为透射电子显微镜还要采用额外方法，而且观察到的不是试样本身。因此，用扫描电子显微镜观察厚块试样更加有利，能得到真实的样品表面形貌。

(5)观察试样的各个区间的细节：试样在样品室中的可动范围相对较大，同时由于扫描电子显微镜本身的景深较大，这就对观察不规则形状试样的各个区域带来了极大的方便。

(6)在大视场、低放大倍数下观察样品，用扫描电镜观察试样的视场大。

(7)进行从高倍到低倍的连续观察：扫描电子显微镜的可变范围很宽，而且也不用经常对焦，一次聚焦好后即可从高到低、从低到高进行连续观察。

(8)观察生物试样：因为观察时所用的电子探针相对于其他电子显微镜的较小，电子探针的能量也比较小而且不是固定一点照射试样。因此，电子照射面发生的试样损伤和污染程度很小，这一点对于观察某些生物试样特别重要。

(9)从试样的表面形貌获得多方面资料：在电子扫描显微镜中，不仅可以利用电子和试样相互作用产生的各种信息来成象，还可以获得多种图像的特殊显示方法，因此可以使得扫描电镜除了观察表面形貌外，配备EDS能谱仪，还可以进行成分和元素的分析。

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