垂直型Ge-Si行波波导型光电探测器（PD）器件的仿真案例及结果

PD器件是利用材料的光电效应，将光能量转化为电信号的一种光电子器件。Ge-Si材料的光电探测器是目前研究热点，这是由于硅在红外波段是透明的，而锗在红外波段具有高响应特性，同时锗的制备技术和CMOS工艺兼容。

本仿真模拟的是一种垂直型Ge-Si行波波导型光电探测器，该器件的工作原理是在外加电压的情况下，光注入产生的非平衡载流子会被电极收集，从而影响半导体的电流电压特性，根据这种电信号的变化来探测光信号。