Nuwa TCAD是芯钬量子公司研发的一款半导体工艺和器件仿真软件(TCAD仿真软件),旨在赋能中国半导体行业发展,打造具有竞争力、高效解决客户问题的TCAD仿真软件。
NuwaTCAD半导体工艺和器件仿真软件的工艺仿真功能,通过仿真半导体工艺中的工艺步骤(沉积、刻蚀、离子注入、扩散、氧化等工艺),得到半导体器件表面轮廓的形貌演化、器件内部杂质的空间分布等,从而为半导体器件制造工艺提供新方向,为半导体器件结构设计提供更多新思路。
NuwaTCAD半导体工艺和器件仿真软件的器件仿真功能基于有限元/有限体积方法,数值求解半导体漂移-扩散方程,以模拟半导体器件的光学和电学特性,分析和预测器件性能。半导体器件仿真技术涉及各种类型的半导体器件,如边发射激光器(FP/DFB/DBR)、垂直腔面激光器(VCSEL)、发光二极管(LED)、探测器(PD)、SiC/GaN相关电力电子器件、硅基MOSFET/BJT/IGBT等微电子和光电子器件,协助工程师探索新型器件技术,提高产品性能和可靠性,缩短产品研发周期。
NuwaTCAD半导体工艺和器件仿真软件能通过仿真给出半导体器件的内部各种物理量如电场、电势、载流子浓度、能带结构、波函数、迁移率、空间电荷、温度、热源、吸收、远场及近场模式分布等物理参数的1D/2D/3D空间分布;展示器件的I-V曲线、I-P曲线、内量子效率、外量子效率、暗电流、光电流、响应率、响应度、发光光谱、激射光谱、折射率变化、相对强度噪音,瞬态及高频特性、S参数等器件光电特性。
NuwaTCAD半导体工艺和器件仿真软件具备图形化的界面系统操作和脚本系统操作,支持通过Python脚本协同各软件仿真,例如结合Macondo电磁波与波动光学仿真软件进行各种光电器件联合仿真,并进行灵活数据分析;Nuwa支持自定义和可视化分析材料属性,集成了定制化的AI智能工具,可用于快速拟合和DOE寻优等,能为研发人员节省大量研发时间。AI深度与网格求解器、牛顿迭代求解器深度融合