（3）半导体runcard【上】--基础知识精讲

半导体runcard是指在半导体制造过程中，用于记录和管理生产过程中的关键参数和数据的一种系统或方法。runcard可以是纸质的记录方式，也可以是电子化的管理系统。在半导体行业中，runcard的使用非常广泛，它涉及到从原材料检验、晶圆加工、测试到最终产品出货的每一个环节。

runcard的概念在不同的文献中有不同的应用和解释。例如，pi run通常指的是在调整某个工艺配方时，先用非产品的晶圆做实验，以收集数据并观察变化。这表明runcard在工艺调整和实验验证中起到了重要的作用。

电子RunCard系统(eRunCard)的介绍显示，传统的纸本RunCard已经被全面自动化，通过整合制程、制造与设备相关生产现场信息，实现了生产管理的电子化和自动化。这种自动化不仅提高了效率，还减少了人为错误的可能性。

另一方面，分片单（split runcard）的概念说明了在进行实验或生产（研发实验、制程参数调整、或是客户要求的制程条件修正）时，可能需要从主流程中分离出来，跑不同的条件7。这操作模式的自动化对于提高生产效率和质量控制具有重要意义。而且，随着技术的发展，如何创建附加的CIM系统来支持分片单的操作已成为研究的重点。

还有一种情况，从主流程中分离出来的一批或几批产品。这种操作通常需要手动进行，因为它涉及到对特定条件下的产品进行测试或调整。s