AMHS工程师的作用

1、AMHS

        Automatic Material Handling System,自动物料搬运系统在半导体厂中扮演着至关重要的角色。它通过自动化的方式,提高了晶圆厂的空间利用率、减少了机台的闲置时间、提升了生产效率以及产品良率。随着半导体制造工艺的不断进步,特别是12寸厂,产线中的工序数量成倍增加,关键机台的吞吐量迅速增加,AMHS系统成为晶圆厂建设过程中不可或缺的一部分。

        AMHS系统的组成部分,该系统由硬件和软件两部分组成,硬件包括天车,轨道,Stocker,OHB等设备,软件系统主要由MCS和AMHS系统组成。天车在轨道上运行搬运Foup,将Foup在机台和存储设备之间来回搬运,Stocker和OHB都是Foup存储设备。软件系统主要由物料控制系统MCS(Material Control System)和AMHS系统组成,MCS给天车下达运输指令,AMHS系统执行MCS下达的指令,为天车规划最优路径,不同CIM厂商的系统架构可能会不太相同,所以不同Fab的软件系统岗位可能也会有些差别。

        AMHS系统不仅提高了生产效率,还通过软件系统的控制和调度,实现了物料在生产线各工序间的自动搬运和缓冲存放,同时还能进行制造过程的数据跟踪,快速定位产品不良和设备异常的源头,及时解决问题。AMHS系统的核心设备包括OHT(Overhead Hoist Transport,天车)、NTB(Near-Tool Buffer,机台侧仓储设备)、STK(Stocker,智能晶圆存储设备)等,这些设备对于减少人员参与、提高制程效率和大规模生产时的良率起到关键作用。

2、AMHS工程师的价值体现

AMHS工程师主要由三种类型,硬件方面的叫做设备工程师,系统软件方面的叫做MCS工程师和AMHS工程师,所以小伙伴们找工作的时候一定要注意区分自己的岗位职责,是硬件还是软件,硬件岗位可能叫做设备工程师,软件方面岗位可能叫做IT的系统开发工程师。

半导体12寸厂中,AMHS工程师的价值主要在于他们的专业技能和对AMHS系统的深刻理解上。

他们负责生产现场设备的运行维护及异常处理、设备安全操作与保养,制定并实施AMHS计划和措施,对过程问题进行追踪解决。此外,AMHS工程师还监控生产过程中的不良品率,确保生产过程的稳定性,建立AMHS标准作业程序文件,并定期更新和维护。他们还需要具备良好的问题解决能力、团队合作精神,熟练掌握相关的软件工具和编程语言,如C/C++、Python等,以及具备良好的沟通能力和技术文档编写能力。

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