泽攸科技无掩模光刻机:引领微纳制造新纪元

在当今科技迅猛发展的时代,微纳制造技术正变得越来越重要。泽攸科技作为这一领域的先行者,推出了其创新的无掩模光刻机,这一设备在微电子制造、微纳加工、MEMS、LED、生物芯片等多个高科技领域展现出了其独特的价值和广泛的应用前景。

技术革新:无需物理掩膜

传统的光刻技术依赖于物理掩膜版来转移电路图形,而泽攸科技的无掩模光刻机打破了这一局限。它采用计算机控制的高精度光束,直接在感光材料上进行扫描曝光,形成所需的微细图形。这种无需掩膜的技术不仅减少了生产成本,还极大地提高了设计和制造的灵活性。

核心优势:精密与智能

1. 纳米压电位移台拼接技术:确保了设备在进行微细图形曝光时的精确度和稳定性。

2. 红光引导曝光:提供了直观的操作体验,实现了“所见即所得”的工作流程。

3. OPC修正算法:通过优化图形质量,提高了产品的良品率和一致性。

4. CCD相机逐场自动聚焦:保证了曝光过程中的图像清晰度,进一步提升了制造精度。

5. 灰度匀光技术:使得曝光更加均匀,有助于提升最终产品的整体性能。

应用广泛:多领域适用

泽攸科技的无掩模光刻机不仅限于传统的半导体行业,它在MEMS压力传感器制造、异质结构制备等新兴领域同样展现出了巨大的潜力,这些应用案例证明了无掩模光刻机技术的通用性和可靠性。

泽攸科技的无掩模光刻机是微纳制造领域的一项重大突破,它以其高精度、高灵活性和广泛应用前景,为科技创新提供了强有力的支持。随着技术的不断进步和市场的不断扩大,无掩模光刻机有望成为未来微纳制造的主流设备之一。

泽攸科技无掩膜光刻机icon-default.png?t=N7T8https://www.zeptools.cn/products_detail/c-_detailId%3D1239530854921826304.html

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光刻机重中之重,前道设备居首位。光刻机作为前道工艺七大设备之首(光刻机、刻蚀机、 镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备),价值含量极大,在制造设 备投资额中单项占比高达23%,技术要求极高,涉及精密光学、精密运动、高精度环 境控制等多项先进技术。光刻机是人类文明的智慧结晶,被誉为半导体工业皇冠上的 明珠。  冲云破雾,国产替代迎曙光。目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能完全垄断 ,CR3高达99%。在当前局势下,实现光刻机的国产替代势在必行,具有重大战略意义 。在02专项光刻机项目中,设定于2020年12月验收193纳米ArF浸没式DUV光刻机, 其制程工艺为28纳米。考虑到此项目作为十三五目标,未来具有较大的明确性,结合 28nm作为当前关键技术节点的性能和技术优势,我们认为光刻机国产替代将迎来新 的曙光,尤其是IC前道制造领域,将初步打破国外巨头完全垄断的局面,实现从0到1 的突破。  按图索骥,追根溯源寻标的。通过对即将交付的28nm光刻机进行剖析,建议关注以 举国之力助力国产替代的光刻产业链,一是光刻机核心组:负责整体集成的上海微 电子、负责光源系统的科益虹源,负责物镜系统的国望光学,负责曝光光学系统的国 科精密,负责双工作台的华卓精科,负责浸没系统的启尔机电;二是光刻配套设施: 包括光刻胶,光刻气体,光掩模版,光刻机缺陷检测设备,涂胶显影设备等。

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