VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直腔表面发射激光器),是3D成像模组中的关键器件,具有光电转换效率高、易集成二维发光阵列、成本低、发散角小等优点,广泛应用于3D识别感测及光通信、光互连等领域。
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在 MQW 发光层的上下部分是 p-DBR 与 n-DBR,用于筛选出特定波长的“纯净”光。由于出射光的方向一般是顶部,所以在底部还需要一层衬底。
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发光层被称为多量子阱(MQW),其中由铟镓砷(InGaAs)和铝镓砷(AlGaAs)组成的 MQW 最为合适
*铟(In)的比例可以决定最后发射激光的波长
优势
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可集成性好
易于制作二维集成器件
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可靠性好
不受光学灾变损伤影响,寿命>107h
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可大批量生产
制备与封装工艺与LED互相兼容
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生产成本可控
可套用LED生产及封装工艺
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光束质量好
圆形光斑,可发出单横模光束,降低光束耦合和光束整形系统的复杂性和成本,与光纤耦合效率高
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器件的波长均匀性和光谱线宽
4inch的外延片谐振波长的标准偏差<2nm,得到的VCSEL二维阵列半高全宽小于1nm, 而边发射器件的FWHM一般为3~5nm
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单纵模特性
VCSEL腔长度短(波长量级)纵模间距大,器件容易实现单纵模工作
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高调制带宽
极小的谐振腔尺寸可得较大弛豫振荡频率, 现调制带宽>20GHz
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波长稳定性
随温度变化率为边发射的1/5
引用自:vcsel简介 | 浙江睿熙科技有限公司